投资ASML？ 台积拟3套剧本

台积电昨（10）日证实，已收到ASML投资邀请，正审慎评估参股可能性。设备商指出，台积电因应英特尔入股ASML，已备好3套剧本，包括也加入参股ASML、自行研发投入更先进技术、投资其它先进技术设备厂。
业界研判，台积电若依英特尔模式参股ASML，应是担心28纳米产能供不应求戏码重演，若能透过参股ASML提升与关键设备厂合作关系，未来就不怕抢不到设备，在最短的时间扩充产能满足客户需求。

随着半导体制程进入20纳米以下技术开发，掌握ASML微影技术的主控权，等于卡位先进制程的领导地位，台积电近几年提高研发支出，有一大半比重放在微影技术开发。



图／经济日报提供业界认为，ASML是全球最大微影设备供应商，在稍早的65、40纳米技术时代，晶圆代工厂便碍于ASML产量有限，曝光机台交期长，即使「有钱也难买设备」，台积电若参股ASML，将可在关键机台取得优先采购权。
若不参股ASML，台积电也可能自行研发新微影技术。台积电过去曾由微制像技术发展处资深处长林本坚领军，透过以水当介质，让浸润式显影技术在90纳米使用的波长193纳米微影设备基础，继续往下延伸至65纳米技术使用。

台积电2004年1月启用全世界第1台193纳米「浸润式微影技术」 （Immersion Lithography）机台，就是以既有的ASML设备机台，辅以台积电自行研发的先进微影技术，带领台积电一下子跳跃3个世代，跨入65纳米生产，奠定先进制程地位。第3种可能则是台积电转而投资其它的技术先进公司，转找其它合作伙伴，例如台积电2007年投资荷兰新创公司Mapper，跨入无光罩微影技术，Mapper甚至派驻相关人员在台积电进行原型机台研发，仍然让台积电在28纳米制程上掌握优势，因此台积电也可能采取这类方式。

帆宣 家登 大赢家

英特尔大手笔入股ASML，强攻18寸晶圆，带动相关设备商机大开，ASML在台合作伙伴帆宣，以及已获英特尔资本 （Intel Capital）投资的18寸晶圆材料商家登，将为成最大赢家。

帆宣、家登近期营运走高，帆宣昨（10）日公布6月营收8.83亿元，月增48.9%，攀上10个月来高峰。家登6月营收7,722万元，月增7.57%；第2季营收2.09亿元，创单季新高。ASML加快18寸晶圆布局，帆宣、家登营运后市看俏，激励两家公司昨天股价同步逆势上涨逾2%。

帆宣近年积极布局半导体高阶设备，已获日立国际电气半导体热制程技术移转，投入12寸热制程机台设备制造，去年下半年开始出货台积电，并与ASML有合作关系，在设备制造代工与代理皆有稳定发展。

18寸晶圆使用的曝光机台开发昂贵，市场预期，ASML获得英特尔入股之后，开发18寸晶圆用曝光机台等周边设备将如虎添翼，也将释出部分代工订单给台厂，帆宣与ASML合作良好，可望新增不少单价高、利润好的业务，直接受惠。

家登获英特尔资本投资后，成为台湾首家参与全球半导体设备及材料标准制定的领导厂商，不仅率先投入18寸晶圆载具、极紫外光光罩盒（EUV Pod）等市场，也获英特尔、应用材料、ASML等国际大厂包下全年产能。家登指出，因应半导体业朝向18寸晶圆发展，该公司积极复制先前旗下光罩传载产品市占第1的成功模式至晶圆传载市场。