兴研的“FLOORKOACHE Ez”在会场上实现1级无尘标准

实现了1级无尘标准（点击放大）

气流的直进性高（点击放大）
只在周围设置简易防风墙等即可实现无尘室的“FLOORKOACHE Ez”达到1级无尘标准，兴研在“Semicon Japan 2011”（2011年12月7～9日，幕张MESSE国际会展中心）会场上演示了1级无尘室。该公司在以前的Semicon会议上也展示过FLOORKOACHE Ez，但此次以达到1级无尘标准为契机，决定在会场上设置特大规模的无尘室以作宣传。

半导体生产线的无尘室通常采用令空气从房间上部向下部流动的垂直层流方式，设置用于向房间上部输送空气的风扇和过滤空气污物的滤网，而且为了防止前后左右的墙壁面上产生的污物进入重直层流，还要注意壁面材料的选择。因此，无尘室设置大多需要花费数十亿日元。

而FLOORKOACHE Ez可以横向压出的气流来实现无尘环境。而且，据称该气流的直进性极高，因此壁面产生的污物等不易进入气流，因而无需对壁面采取特殊措施。具体而言，在前后左右四面中的一面设置FLOORKOACHE Ez，在左右面和上面设置简易墙壁及天花板，防止打乱气流的风等进入，并配备可使气流从对抵抗面的两侧等排出的设施，便可实现无尘环境。实际上，会场上的无尘室是通过在金属架上粘贴克力板之类的透明板构成墙壁及天花板的。这样便可低成本实现无尖室，比如能够用6500万日元将7m×20m×2.7m的空间打造成无尘室。而且设置工期也只需不到一周时间。

此次能够将无尘级别从原来的5级提高到1级，是因为开发出了名为“FERENA-ZE”的滤网组件。据介绍该滤网同时实现了与HEPA滤网相当的压损和与ULPA比肩的捕集性能。通过在FLOORKOACHE Ez中采用该滤网，实现了1级无尘标准。为了开发该滤网，兴研使用了称为“静电纺丝（Electrospinning）”的技术。（记者：长广 恭明，Tech-On！）