日商创造科学 发表TSV新制程技术

日商ESC大厂－日商创造科学（Creative Technology）公司发表最新对应TSV等新制程所开发技术，包括静电吸盘、吸附机构、Heater，以及客制化全系列ESC（Electric Static Chuck），并于前年成立在台分公司，提供快速又全方位服务，积极争取国内半导体大厂合作，并提供完整ESC解决方案。
甫于2008来台成立办事处的日商创造科学公司，于SEMICON展世贸1馆B332摊位展出系列半导体设备零件，展出包括TSV新的制程技术与各式ESC，欢迎前往指教。
日商创造科学海外营业部长清水隆行表示，该公司强调客制化的服务流程，从产品的研发设计到制作中期与后段测试工程均完整涵盖，提供双极性静电吸盘、加热器、晶圆承载盘、相关零件与离子植入设备耗材等，并提供各种材料加工、表面处理、黏合与评估测试服务，于展会现场做展示。
现与国内外厂商如台积电、联电、三星、美光等持续合作，日商创造科学业务代表陈思樫表示，此次参加2010年国际半导体展，将以ESC世界大厂优势，稳定成长提供客户高信赖度产品。包括对应TSV等新制程所开发的新技术包含静电吸盘、吸附机构以及Heater：1、For超薄晶圆、机械手臂（制程、搬运用）所使用的ESC。2、可将均温、反应能力发挥到最大极限所使用的高、低温Heater 以及结合静电盘功能的Heater。3、抑制Particle产生的吸附机构之提案，可用于Lithography制程，Spin Chuck、Minimum Emboss Spec部分。日商创造科学公司网址：www.creativetw.com.tw，电话：（03）550-8065。