[导读]ASML的量产型EUV光刻机在TSMC现场初试时出现失误。在2014年加州SanJose举行的先进光刻技术会议上TSMC演讲中透露此消息,由于EUV光源内的激光机械部分出现异位导致光源破裂。因此EUV光刻机停摆。TSMC的下一代光刻部经理
ASML的量产型EUV光刻机在TSMC现场初试时出现失误。
在2014年加州SanJose举行的先进光刻技术会议上TSMC演讲中透露此消息,由于EUV光源内的激光机械部分出现异位导致光源破裂。因此EUV光刻机停摆。TSMC的下一代光刻部经理Jack Chen证实仅是激光的机械部分故障。
ASML/Cymer计划迅速解决问题,按Chen的看法,EUV仍有希望。尽管EUV光刻出现问题但是TSMC计划在10nm节点时能用上EUV。
近期EUV光刻机出现一系列的问题被曝光。有些专家认为在TSMC现场出现的光源故障对于EUV的实用性,尤其是对于未来的量产型EUV光刻机客户会产生疑惑,可能会延续一段时间。
目前对于EUV光刻机的问题集中在光源,实际上尚有不少问题待解决,如EUV的掩膜与光刻胶等。
光源问题
ASML的第一代量产型EUV光刻机NXE;3300B近期己运抵TSMC。而Intel,Samsung和其它客户都有望在今年也拿到设备。这类EUV光刻机的数值孔径(NA)0.33,4X放大及分辨率为22nm(half-pitch)。
运抵TSMC的NXE 3300B装上ASML/Cymer的30瓦EUV光源。按TSMC说法,原试车计划在1月31日前举行,但是由于激光的机械部分出现故障,导致设备停摆。直到2月24日设备仍不能开动。
此类光源由Cymer公司研发,近期它己被ASML兼并。ASML/Cymer曾经承诺在2012年底时提供100瓦光源。但是至今Cymer在实验室里能提供40-50瓦光源。
Chen说,可能是EUV光源的内部件出现故障,即集光镜。此类EUV光源是基于激光型plasma(LPP)技术。在LPP中由激光脉冲产生的等离子体射中靶子。光源也利用一种pre-pulse laser和一种主振功率放大器(MOPA)来邦助提高光源的功率。
当一个55瓦光源可使EUV光刻机的硅片通过量达到每小时43片,显然从产业角度至少需要80瓦光源,而且能稳定连续的工作。因为当光源功率在80瓦时可以每小时58片。ASML的计划在2015年时光源功率能达到250瓦,可实现每小时126片。
本站声明: 本文章由作者或相关机构授权发布,目的在于传递更多信息,并不代表本站赞同其观点,本站亦不保证或承诺内容真实性等。需要转载请联系该专栏作者,如若文章内容侵犯您的权益,请及时联系本站删除。
业内消息,近日日本官方表示计划扩大对与半导体或量子计算相关的四项技术的出口限制,这是全球管制战略技术出口的最新举措。该限制措施向所有国家/地区(包括最受惠的贸易伙伴韩国、新加坡和中国台湾)的此类货物将需要出口管制官员的批...
关键字:
半导体
出口管制
商务部
GAA
作为一家半导体材料供应商,Syensqo集团致力于携手全行业的客户和合作伙伴,加速推进整个价值链的可持续发展。
关键字:
半导体
新款1KV多路复用器系列,采用仪器级高品质舌簧继电器,具有硬件互锁功能确保安全性,兼具高密度和高性能。
关键字:
多路复用器
继电器
半导体
当前,2024'中国电子热点解决方案创新峰会已经进入倒计时,距离开始时间只剩数十小时,目前活动报名仍在火热进行中!
关键字:
展会
半导体
微控制单元(Microcontroller Unit;MCU) ,又称单片微型计算机(Single Chip Microcomputer )或者单片机,是一种针对特定应用的控制处理而设计的微处理器芯片,其工作频率(在1M...
关键字:
MCU
芯片
半导体
4月22日消息,中国第一季度半导体产量激增40%,标志着成熟制程芯片在中国市场的主导地位日益巩固。
关键字:
半导体
英特尔
意大利
2024年第一季度,ASML实现净销售额53亿欧元,毛利率为51.0%,净利润达12亿欧元。今年第一季度的新增订单金额为36亿欧元,其中6.56亿欧元为EUV光刻机订单。
关键字:
ASML
阿斯麦
半导体
4月22日消息,中国第一季度半导体产量激增40%,标志着成熟制程芯片在中国市场的主导地位日益巩固。
关键字:
半导体
传感器
人工智能
电动汽车
业内消息,近日英特尔表示其已成为第一家完成组装荷兰ASML的新型“High NA”(高数值孔径)EUV(极紫外)光刻设备的公司,目前已转向光学系统校准阶段。这是这家美国芯片制造商超越竞争对手的重要举措。
关键字:
英特尔
ASML
EUV
光刻机
2024年4月18日,中国 – 服务多重电子应用领域、全球排名前列的半导体公司意法半导体(STMicroelectronics,简称ST;纽约证券交易所代码:STM)今天公布了可持续发展年报, 展示了为全体利益相关者创造...
关键字:
可持续发展
半导体
6月26日至28日,由深圳中新材会展有限公司联合中国通信工业协会、江苏省半导体行业协会、浙江省半导体行业协会、深圳市半导体行业协会、成都集成电路行业协会举办的SEMI-e第六届深圳国际半导体技术暨应用展览会(简称:SEM...
关键字:
半导体
2024年4月17日,中国 – 服务多重电子应用领域、全球排名前列的半导体公司意法半导体(STMicroelectronics,简称ST;纽约证券交易所代码:STM)将在2024年4月25日欧洲证券交易所开盘前公布202...
关键字:
半导体
数据
上海2024年4月16日 /美通社/ -- 4月11日,中智《百川汇流 央地融通,全力以赴加快五个中心建设》主题大会在上海成功举办,本次大会由上海市经信委和上海市国资委指导、中智经济技术合作股份有限公司和中智管理咨询有限...
关键字:
AI
电气
人工智能
半导体
【2024年4月16日,德国慕尼黑讯】英飞凌科技股份公司(FSE代码:IFX / OTCQX代码:IFNNY)在2023年持续扩大其在汽车半导体市场的领先地位。TechInsights的最新研究显示,2023年全球汽车半...
关键字:
MCU
半导体
电池管理系统
2024年4月15日 – 专注于引入新品并提供海量库存™的电子元器件代理商贸泽电子 (Mouser Electronics)宣布在2024半导体产业发展趋势大会暨2023年度华强电子网优质供应商颁奖盛典中,荣获“2023...
关键字:
半导体
电子元器件
作为公司提高供应链韧性战略的一部分,该举措将助力Microchip实现40纳米专业工艺
关键字:
半导体
供应链
晶圆厂
4月9日至11日,深圳会展中心(福田)星光璀璨,2024中国电子展盛大举行。展会期间,英麦科亦携全新产品惊艳亮相,再度彰显其在电感领域的卓越实力与巨大潜力。
关键字:
英麦科
电感
半导体