Gigaphoton将LPP EUV光源输出端最大等效功率提升至20W级别

Gigaphoton公司18日宣布已经成功将LPP EUV光源产品的输出端等效最大功率推进到了20W水平。该公司达成这个目标所使用的方法是，使用固态预脉冲激光器，100khz频率的CO2激光来轰击锡靶标。采用这种方法，该公司在光源运行过程中达成了平均 10W水平的输出功率。由于目前普遍认可的预生产型商用EUV光源输出功率级别正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果标志着预生产极 EUV光源发展过程中的一个新里程碑。


Gigaphoton公司自2002年起便专注于高输出功率，经济型LPP光源的研发。几年来该公司研发出了许多相关的技术，包括锡液滴尺寸低于20um水平的按需式锡液滴生成技术，以及融合了短波长固态预脉冲激光器技术，CO2激光技术，以及磁场式杂质消除技术在内的LPP EUV激光光源技术。
Gigaphoton透露，与这款LPP光源技术相关的信息将在本月24-28日召开的SPIE2013高级光刻技术年会(SPIE Advanced Lithography 2013)上公开，这次年会将在美国加州圣何塞市召开。