当前位置:首页 > 消费电子 > 消费电子
[导读]日前,8寸晶圆显微镜检测系统经6个月的研发,在北京自动化技术研究院大兴工业基地诞生,这是继大气型硅片专用机械手和wafer loader后的又一款新型机械手。这项技术完全由自动化院自主研发、自行生产。整个系统由传输

日前,8寸晶圆显微镜检测系统经6个月的研发,在北京自动化技术研究院大兴工业基地诞生,这是继大气型硅片专用机械手和wafer loader后的又一款新型机械手。这项技术完全由自动化院自主研发、自行生产。整个系统由传输装置、宏观检查装置和显微放大装置组成,内部系统则是由第三代控制软件来实现。

8寸晶圆显微镜检测系统通过机械手将晶圆从片盒取出放在真空吸附托盘上,通过鼠标或操作按键改变晶圆的转向以初步检查。显微镜平台可进行精密检测,能够观察晶圆微观的颗粒,划伤,污染等情况。这种机械手采用了直线型真空吸附结构,灵活可靠,显微镜平台能够提供40-1000倍的观察效果。它还可以提供多种灵活多变的晶圆检测模式,包含以下检测内容:晶圆ID、晶圆notch的方向、晶圆旋转角度及速度、晶圆微观的晶格等,并能够实现连续监控。

在整个研发过程中,机械设计、软件设计、电路设计和气路设计都作了进一步的改进和优化。其中在软件部分,实现了模块化和标准化的应用,在设备断电或操作不当等原因出现设备故障时,调试人员也可以在最短时间内将它恢复。在第3代软件版本中,改善了人机交互界面,使得操作者可以在友好的

界面中易于操作,交互便捷,同时也保证了设备运行的安全和稳定。在电子电路设计方面主要控制了电机和传感器反馈给板卡的信号,使得信息既可以接受也可以反馈,形成闭环。其中在机械手的危险位置设置传感器,是为了避免它发生碰撞和危险动作。

本站声明: 本文章由作者或相关机构授权发布,目的在于传递更多信息,并不代表本站赞同其观点,本站亦不保证或承诺内容真实性等。需要转载请联系该专栏作者,如若文章内容侵犯您的权益,请及时联系本站删除。
换一批
延伸阅读

手机传感器是手机上通过芯片来感应的元器件,如温度值、亮度值和压力值等。手机中有很多传感器默默地在后台工作以支持我们前台操作更方便。

关键字: 手机 反超相机 传感器

在这篇文章中,小编将为大家带来车联网的相关报道。如果你对本文即将要讲解的内容存在一定兴趣,不妨继续往下阅读哦。

关键字: 车联网 传感器 智能终端

蔡司在苏州工业园区奠基启动"凤栖"工程建设,这是蔡司在国内首次购地自建项目,标志着蔡司在中国本土化进程的进一步深化与扩展。 "凤栖"工程建成后,蔡司苏州将成为蔡司在中国更高规格的研发与制造的重要据点,为其工业质量、研究显...

关键字: 显微镜 进程

图像传感器是利用光电器件的光电转换功能将感光面上的光像转换为与光像成相应比例关系的电信号。与光敏二极管,光敏三极管等“点”光源的光敏元件相比,图像传感器是将其受光面上的光像,分成许多小单元,将其转换成可用的电信号的一种功...

关键字: 图像 传感器 摄像头

在这篇文章中,小编将对CPU中央处理器的相关内容和情况加以介绍以帮助大家增进对CPU中央处理器的了解程度,和小编一起来阅读以下内容吧。

关键字: CPU 中央处理器 晶圆

一直以来,扭矩传感器都是大家的关注焦点之一。因此针对大家的兴趣点所在,小编将为大家带来扭矩传感器的相关介绍,详细内容请看下文。

关键字: 扭矩传感器 传感器 量程

在下述的内容中,小编将会对传感器的相关消息予以报道,如果传感器是您想要了解的焦点之一,不妨和小编共同阅读这篇文章哦。

关键字: 传感器 角位移传感器 位移传感器

今天,小编将在这篇文章中为大家带来可穿戴设备的有关报道,通过阅读这篇文章,大家可以对它具备清晰的认识,主要内容如下。

关键字: 可穿戴设备 移动支付 传感器

本文中,小编将对超声波传感器予以介绍,如果你想对超声波传感器的详细情况有所认识,或者想要增进对超声波传感器的了解程度,不妨请看以下内容哦。

关键字: 超声波传感器 传感器 检测方式

在这篇文章中,小编将为大家带来超声波传感器的相关报道。如果你对本文即将要讲解的内容存在一定兴趣,不妨继续往下阅读哦。

关键字: 超声波传感器 传感器 测量

消费电子

96435 篇文章

关注

发布文章

编辑精选

技术子站

关闭