西班牙公司计划开发CMOS工艺单片式MEMS惯性传感器

一家位于西班牙巴赛罗纳的初创公司Baolab Microsystems SL宣布，正计划采用该公司的一种新技术，来开发可重配置的惯性传感器单元(IMU)。Baloab Microsystems SL是首创在CMOS晶圆金属互连层中开发出微机电系统(MEMS)元件的公司。

Baolab已经开发出基于该公司特有技术的3D罗盘。这家公司同时表示，预计在对其技术进行修改后，还能进一步维入加速度计和陀螺仪，进而开发出全新的IMU。然而，Baolab并未说明何时才能采用其后段CMOS工艺正式生产多轴加速度计或陀螺仪。

结合三轴加速度计、陀螺仪和磁力计，可提供绝对位置和方向数据。这类产品通常结合卫星数据，在移动设备应用中提供位置感知功能。

“我们已经开发出能够修改我们所开发的3D NanoCompass产品架构的方式，以便用于开发陀螺仪、加速度计以及磁力计，Baolab CEO Dave Doyle说。“由于我们已经能在单一芯片中同时整合各种不同的传感器和电子元件，同时提供控制功能与智能特性，因此，我们将比创造出一种业界渴望的产品──多传感器的IMU，这种新元件将具备更灵活的特性，能够依照各种应用需求来动态配置。”

一般来说，MEMS、模拟信号调节器，以及数字信号处理会需要三种不同的工艺。这些元件通常采用多芯片封装，以便让它们成为具备数字输出的MEMS元件。而藉由在CMOS芯片的金属层中整合MEMS架构，Baolab声称将能开发出单片式的多单元MEMS元件。

“我们的目标是开发出超低成本，具备智能特性的多传感器NanoIMU 产品，未来我们将推出一系列的纳米传感器，”Doyle说。