有关柔性、氧化物TFT、液晶配向以及3D的新技术备受瞩目

在显示器国际会议“17th International Display Workshop（IDW '10）”（2010年12月1～3日，福冈国际会议中心）第二天分会上笔者看到了一些颇感兴趣的内容，特在此介绍给各位读者。

在柔性与OLED（有机EL）的联合分会上，台湾ITRI（Industrial Technology Research Institute，工业技术研究院）发布了基于玻璃基板制造工艺的柔性有机EL面板制造工艺（论文序号：FLX4/OLED4-2）。其做法是，首先在玻璃基板上贴上PI基板，在缓冲层上利用与普通玻璃基板相同的工艺形成TFT。然后，在该基板上形成有机EL层，在薄膜封装工序后剥离玻璃基板，制成柔性有机EL面板。ITRI正以实现量产为目标，开发该“Sheet to Sheet工艺”。从可靠性测试的评测结果来看，实现量产之前还需要克服许多问题，不过通过此次发布可以清楚地看出，台湾业界对柔性显示器市场寄予了厚望。

在AMD（Active Matrix Display，有源矩阵显示器）与有机EL的联合分会上，台湾友达光电（AU Optronics，AUO）公布了利用第6代生产线专为大尺寸有源矩阵型有机EL面板而开发的IGZO（In-Ga-Zn-O）TFT（论文编号：AMD5/OLED6-1）。TFT的构造为反向通道蚀刻（Back Channel Etch）型，就退火工艺而言，最后只进行一个小时的250℃高温处理。由于TFT构造采用反向通道蚀刻型，因此液晶面板用TFT可以通过5张掩模、有机 EL面板用TFT可以通过6张掩模进行制造。为了避免对通道造成等离子损伤（Plasma Damage），友达光电将感光性有机材料用作钝化膜。实现了8.9cm2/Vs的迁移率和0.3V/dec的s参数。Vth偏差在所有第6代基板中为0.2V。压力测试的结果是：200ksec加载10V振幅的扫描脉冲后有＋0.9V的Vth漂移，50ksec加载±10V的50％占空AC信号后有＋1.7V的Vth漂移，仍需改进。为了防止因有机EL工序中使用的UV（紫外线）而造成损伤，友达光电一直采用塗布型TiOx膜来防止TFT的劣化。

在接下来的发布中，索尼采用ITZO（In-Sn-Zn-O）TFT而非IGZO试制了有机EL面板（论文序号：AMD5/OLED6-2）。该有机 EL面板为8英寸UWXGA（1600×768像素），通过ITZO TFT内置了扫描驱动电路和DeMUX选择器电路。与相同构造的TFT进行比较，IGZO的迁移率为11.5cm2/Vs，通过采用ITZO提高到了30.9cm2/Vs。在Vgs＝15V、Vds＝15V、温度为50℃的BTS试验中，Vth偏移为0.1V。另外，ITZO的溅射靶为日本出光兴产制造。

在LCT（LC Science and Technologies）分会上，索尼介绍了其在2010年6月于美国举行的学会“SID”上发布的FPA（field induced photo-reactive alignment）的改良款“Hybrid FPA”（论文序号：LCT4-5L）（参阅本站报道）。一般情况下，如果在VA模式下扩大预倾角，液晶的上升时间会变快，不过下降时间会变慢，还会由于漏光而导致对比度降低。如果减小预倾角，对比度会得到提高、下降时间会变快，不过上升时间会变慢，存在一种此消彼长（Trade-off）的关系。据索尼介绍，Hybrid FPA是一种只在单侧基板采用光配向技术（FPA模式）并施加预倾角，另一侧基板为垂直配向状态的液晶模式，在上升时间、下降时间以及对比度方面均较为出色。FPA用配向膜由JSR生产，不过没有公布配向膜材料的详细情况。据索尼介绍，比较FPA模式和Hybrid FPA模式后发现，下降时间由3.4ms改善至3.2ms，黑电平（Black Level）由0.5cd/m2改善至0.42 cd/m2。

关于三维（3D）显示器方面，笔者在展板展示上发现了一项颇为有趣的发布。这就是由NTT DoCoMo参考展出的“碰触3D”（论文序号：3Dp-13L）（参阅本站报道）。 NTT DoCoMo事先在裸眼型3D显示器的背面嵌入了线圈，具有通过磁力使笔尖安装有磁铁的特殊笔反弹回来的功能。由于笔尖的位置可以通过摄像头进行三维检测，因此可以实现多种体验内容。比如将笔靠近变色龙面部附近时，用户能够感受到犹如变色龙真地用舌头将笔顶起的感觉。采用该功能可以制作多种游戏。任何精彩的图像都必须具有“新奇性”。笔者认为，终究3D的生命力还是在于内容。（特邀撰稿人：松枝 洋二郎，台湾友达光电）

图1：NTT DoCoMo在海报展上参考展出的“碰触3D”（论文序号：3Dp-13L）（点击放大）