Olympus发布新型圆片检测系统

据Semiconductor Reporter网站报道，Olympus Integrated Technologies America近期发布了一款新型300mm圆片光学全顶、边缘、倾角和背端缺陷检测系统。该公司以前的检测系统不含有倾角检测能力，倾角检测将通过连续角度调节实现最佳成像和缺陷探测。AL3300光学检测、缺陷探测系统可以实现每小时180圆片的产能，同时具有较小的和灵活的占地面积。该公司表示，精细观察可以在多种波长照明下完成，例如探测玷污、擦痕等缺陷和薄膜厚度变化等微缺陷。通过微型照相机可以自动获得圆片的1X图像。AL3300完全适用于GEM300系统，以实现用户自动设备的无损伤检测。