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吉时利仪器提升S530参数测试系统的吞吐量和准确度

时间：2011-02-14 09:10:41

关键字：仪器测试系统 SMU 电流

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[导读]吉时利仪器公司日前宣布半导体行业最经济有效的全自动化生产参数测试方案——S530参数测试系统产品线在几个方面的性能提升。这些性能提升包括增加了吉时利新的高吞吐量开关主机用于高完整性的信号切换，探

吉时利仪器公司日前宣布半导体行业最经济有效的全自动化生产参数测试方案——S530参数测试系统产品线在几个方面的性能提升。这些性能提升包括增加了吉时利新的高吞吐量开关主机用于高完整性的信号切换，探针卡上的完全开尔文测量提高低阻值准确度、新的硬件保护模块防止高灵敏度系统仪器受高电压影响，以及齐全的“探测”系统规范和诊断工具。

S530系统专门针对必须适应各种产品组合或者在宽应用灵活性和快速开发测试方案非常关键的生产参数测试环境进行了优化。S530测试仪采用成熟的源-测量技术和高保真度信号通路确保业界领先的测量准确度和可重复性。

选择两种功能强大的参数测试配置
提供两种不同配置的S530系统：低电流配置用于特性测量，例如亚阈值漏电、栅极漏电等；高电压配置用于GaN、SiC和Si LDMOS功率器件所需的较困难的故障和漏电测试。S530低电流系统（2~8 SMU通道）提供亚皮安测量分辨率和低电流防护一直到探针引脚。S530高压系统（3~7 SMU通道）带有源-测量单元（SMU），能输出1000V@20mA（20W最大值）。在合理配置下，S530系统能实现过程控制监控、过程可靠性监控和器件特性分析所需的全部DC和C-V测量应用。

专为高度混合的测试环境下实现经济有效的操作优化
在整个测试方案开发过程中，S530参数测试系统能及时向工程师提供反馈，因而加速并简化了晶圆与测试方案的设置。例如，控制S530系统流水线测试方案开发的自动特性分析套件（ACS）软件支持新的测试脚本进行交互式测试并且在全自动模式下不影响吞吐量。ACS还提供离线式测试方案开发和测试结果分析。

功能强大的ACS软件
与其它几款成熟的吉时利测试系统一样，S530系统也使用功能强大的ACS 4.3版本软件，这加强了实验室与圆厂的联系并加快了系统学习的速度。由于ACS在一个集成包中结合了全部自动参数测试所需的元素，因而使S530系统的效率和灵活性最大化。

业内功能最强大的高电压参数测试系统
所有S530系统都配备了高达20W源或阱能力（在200V和20V量程下）的高功率SMU，适于当今移动设备中流行的高功率器件和电路的完整特性分析。无论在LDMOS Si测试还是在GaN BJT测试应用中，更高的功率性能可以更加深入地了解器件性能。还能确保S530系统在测试高功率器件时不会影响监控主流器件过程所需的低电流亚皮安级灵敏度。S530高压系统是现有唯一一款能提供1kV到任何探针卡引脚（最多32引脚）的参数测试仪。它能在一次完成高电压和低电流的灵敏测量，从而实现高功率器件准确特性分析。此系统的高电压SMU能输出1000V@20mA（20W最大值）。

高度保真的信号通路提高测量完整性
每个S530测试系统都采用高性能开关矩阵和高度保真的信号通路以便在仪器和测试引脚之间直接传送信号。通过设定电流和电压上限并限定电流失调的低电平测量，这些通路的性能将直接影响测试系统整体的性能。S530具有8条高度保真的通路可用于仪器与引脚之间的动态连接。例如，每次最多能将8台SMU连接至任意引脚（或一组引脚）。该低电流系统对于全部8条通路都具有一致的性能；高压系统具有2条高压/低漏电通路、4条通用通路和2条C-V通路。这两种系统都支持最高2MHz的C-V测量。

基于成熟的SMU技术
S530参数测试系统内建的全部源-测量单元（SMU）都基于吉时利产品质量保障的仪器技术以确保较高的测量准确度和可重复性并延长硬件的寿命。这些SMU是四象限源，所以能输出或吸收（源或阱）电流或电压。除了精密源电路外，这些SMU还包括全量程的可编程范围（容限），这有助于防止因设备故障而损坏设备和探针尖。每台SMU还能在源的同时测量电压和电流，这确保参数计算反映了实际情况而不是设定的条件。

电容-电压（C-V）单元选件
全部S530系统都能配备高速电容表用于在任意引脚进行最高2MHz的C-V测量。此C-V单元在1MHz条件下能测量10pF电容并具有3%的准确度。

产品质量保障功能
S530参数测试系统包括丰富的产品质量保障功能，包括内建诊断、系统指标至探针卡并兼容CE、SemiS2和S8等行业标准。ACS的“指令总线”控制接口简化了选配定制用户接口或工厂自动化主机控制器。