激光干涉仪功能特点及维护保养

激光干涉仪是以以激光为光源的干涉仪器，可以测量线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工具。如检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度等，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。

激光干涉仪具有哪些功能特点？应该如何维护保养？

1、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。

2、激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。

3、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。

4、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。

5、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。

6、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。

7、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。

8、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。

9、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。

10、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。