伊利诺伊大学采用泰克仪器装备纳米制造实验室

全球领先的测量解决方案提供商——泰克科技公司日前宣布，伊利诺伊大学香槟分校电气和计算机工程系购买了三台吉时利4200A-SCS参数分析仪及三个4200A-CVIV多功能开关模块，用于首个本科生纳米加工实验室，旨在为学生提供与微纳电子动手实践经验。4200A-SCS是一种全面集成的模块化参数分析仪，用来对材料、半导体器件和工艺进行电气特性测试。4200A-CVIV提供了一种错误检验方法，在DC和AC测量之间实现切换，并把AC测量传送到测试设备的任意端子。

伊利诺伊大学正在建立纳米制造实验室——阿提斯ECE大楼，建筑面积23万平方英尺，有20多间实验室，为学生提供电子和计算操作培训。该大学之所以在纳米制造铸造实验室中选择4200A-SCS，是因为其希望购买的设备能够立即投入使用，而使学生和新用户的培训达到最小。最新推出的4200A-SCS突出了易用性和以下功能：

· 内嵌YouTube类测量指引视频，包括中文、英文、日文和韩文，介绍了怎样设置、执行及调试测试，并包含各种应用指南和网上研讨会

· 超过450项随时可以使用的、用户可以修改的应用及器件，快速提升测试计划开发工作

· 可视化测试计划开发和测试排序工具

· 集成置信度检查，用户可确保探头接触晶圆焊盘

“实践证明，吉时利4200A-SCS提供了先进的参数测试功能与易用性的理想组合。”新实验室指导员兼协调员Dane Sievers说，“事实上，该仪器的操作非常直观易懂，甚至未经培训就能操作。”

4200A-SCS由以下几部分组成：源测量单元，用于I-V表征;电容-电压模块，用于AC阻抗测量;超快速脉冲测量单元，用于执行脉冲式I-V、波形捕获和瞬态I-V测量。通过4200A-SCS，研究人员或工程师可以测试关键参数，满足材料研究、半导体器件设计、开发或生产等需求。

“我们做了大量的工作，即使是以前没有参数分析仪经验的用户，4200A-SCS设置起来也非常简便，而且很容易学习。”泰克科技公司吉时利产品线总经理Mike Flaherty说，“4200A-SCS的易用性，使其特别适合伊利诺伊大学正在建设的这类教学实验室，以及在多个用户之间共享资源的半导体器件研究、器件故障分析和可靠性测试等应用。”