EVG与DELO合作为晶圆级光学元件和纳米压印光刻技术开发材料并提升工艺能力

 EVG 与 DELO 合作为晶圆级光学元件和纳米压印光刻技术开发材料并提升工艺能力

在 EVG 的 NILPhotonics® 解决方案支援中心，双方合作研发用于制造光学传感器的新材料，以及适用于大众化市场的晶圆级光学元件。

ST. FLORIAN(奥地利)与 WINDACH (德国)，2019年11月27日 —— EV 集团 (EVG) 这一全球领先的为微机电系统、纳米技术与半导体市场提供晶圆键合与光刻设备的供应商，今天宣布与高科技工业粘合剂制造商 DELO 在晶圆级光学元件 (WLO) 领域开展合作。这两家公司均在光学传感器制造领域处于领先地位。它们的合作将充分利用 EVG 的透镜注塑成型与纳米压印光刻 (NIL) 加工设备与 DELO 先进的粘合剂与抗蚀材料，在工业，汽车，消费类电子产品市场开发与应用新型光学设备，例如生物特征身份认证，面部识别。

目前双方正在 EVG 的 NILPhotonics® 解决方案支援中心 (位于 EVG 总部，奥地利 Florian)以及 DELO 在德国 Windach 的总部展开合作。双方致力于改善与加快材料研发周期。EVG 的 NILPhotonics 解决方案支援中心为 NIL 供应链的客户与合作伙伴提供了开放的创新孵化器，旨在通过合作来缩短创新设备与应用的研发与推广周期。该中心的基础设施包括最先进的洁净室与支持 NIL 制造的主要步骤的设备，例如分步重复母版，透镜模制，以及 EVG 的 SmartNIL® 技术，晶圆键合与必要的测量设备。它为晶圆级光学元件开发、原型设计和制造提供了一种独特的方法，可以方便地接触最新研发技术与材料。

晶圆级纳米压印光刻和透镜注塑成型技术确保在如3D感应的应用中使用小尺寸的高分辨率光学传感器

供应链合作推动晶圆级光学元件应用

要在下一代光学传感器的大众化市场中推广晶圆级生产，先进的粘合剂与抗蚀材料发挥着不可取代的作用。开发先进的光学材料，需要充分地研究化学、机械与光学特性，以及已被证实的大规模生产(HVM)的可扩展性。拥有在NIL 图形压印和抗蚀工艺方面的材料兼容性，以及自动化模制和脱模的专业知识，才能在已验证的大规模生产中，以最小的形状因子达到晶圆级光学元件的最佳性能。

材料供应商与加工设备制造商之间的密切合作，促成了工艺流程的研发与改善，确保晶圆级光学元件的高质量和制造的可靠性。EVG 和 DELO 的合作将支持双方改善工艺流程与产品，并增强双方的专业技能，从而适应当前与未来市场的要求。双方的合作提供了成熟的材料与专业的工艺技术，并将加快新产品设计与原型制造的速度，为双方的客户保驾护航。

“NILPhotonics 解决方案支援中心的独特之处是：它解决了行业内部需要用更短时间研发产品的需求，同时保障最高的保密性，” EV集团的技术研发与 IP 主管Markus Wimplinger说， “通过与供应链的关键企业的合作，例如 DELO，我们能够进一步提高效率，作为与工艺和设备专家们一同研究并建立关键的新生产线制造步骤的中心。”

“EVG 和 DELO 分别是晶圆级光学仪器与 NIL 设备与光学材料的技术与市场领先企业。双方在将技术与工艺流程应用于大规模生产方面有可靠的经验,” DELO 的董事总经理 Robert Saller 说道。“通过合作，我们将提供自己独特的技术，将晶圆级工艺技术应用于光学器件和光电器件制造中，EVG也成为我们最新产品开发的理想合作伙伴。这种合作还将使我们以应用专家和顶级合作伙伴的身份为客户服务。"

晶圆级光学元件的应用解决方案

EVG 的晶圆级光学器件解决方案为移动式消费电子产品提供多种新型的光学传感设备。主要的例子是： 3D 感应，飞行时间，结构光，生物特征身份认证，面部识别, 虹膜扫描，光学指纹，频谱检测，环境感应与红外线成像。其它应用领域包括汽车照明，光地毯，平视显示器，车内感应，激光雷达，内窥镜照相机医学成像，眼科设备与手术机器人。EVG 的晶圆级光学仪器解决方案得到公司的 NILPhotonics 解决方案支援中心的支持。

DELO 创新的多功能材料几乎可以在世界上每部手机上找到。该公司的高科技粘合剂以功能与可靠性闻名于世。根据客户的专门需求，公司对这些聚合物作出调整，使其具备其它特征。它们极其适合工业环境，在较短的生产周期时间内粘合各种微小的元件。此外， DELO 紫外线 LED 固化设备与点胶阀的可靠度十分杰出。

关于德路

德路 (DELO) 是世界领先的工业粘合剂制造商，总部位于德国慕尼黑附近的 Windach 。在美国、中国、新加坡及日本均设有子公司。2019财政年，公司的780名员工创造了1.56亿欧元的销售额。该公司产品在全球范围内广泛应用于汽车、消费类电子产品与工业电子产品。几乎每一部智能手机与超过一半的汽车上都使用该公司产品。DELO 的客户包括博世、戴姆勒、华为、欧司朗、西门子以及索尼等。

关于 EV Group (EVG)

EV 集团 (EVG) 是为生产半导体、微机电系统 (MEMS)、化合物半导体、功率器件以及纳米技术器件制造提供设备与工艺解决方案的领先供应商。该公司主要产品包括晶圆键合、薄晶圆处理、光刻/纳米压印光刻技术(NIL)与计量设备，，以及涂胶机、清洗机与检测系统。EV集团创办于1980年，可为遍及全球的众多客户与合作伙伴提供各类服务与支持。