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[导读]全自动高速晶圆级参数测试解决方案面向最新的功率半导体器件, 包括高达3 kV的SiC和GaN

 中国北京2016年10月27日 – 全球领先的测量解决方案提供商——泰克科技公司日前推出Keithley S540功率半导体测试系统,这是为高达3kV的功率半导体器件和结构提供的一种全自动48针参数测试系统。全集成S540是为用于最新复合功率半导体材料而优化的,包括金刚砂(SiC)和氮化镓(GaN),可以在一个探头接入中执行所有高压测试、低压测试和电容测试。

随着对功率半导体器件的需求不断提高,同时也随着SiC和GaN日益商业化,制造商正在生产工艺中采用晶圆级测试,以优化良品率,改善盈利能力。对这些应用,S540最大限度地缩短了测试时间和测试设置时间,减少了占用空间,同时实现了实验室级高压测量性能,降低了拥有成本。

“许多铸造厂正使用定制的混合测试系统,来执行功率半导体测试,在从低压测试转向高压测试时,这要求手动改变测试设置。正如大家预想的一样,这会增加工艺步骤,延缓生产速度。”泰克科技公司吉时利产品线总经理Mike Flaherty说,“相比之下,S540是一种完整的全集成解决方案,特别适合必须迅速测试各种器件的生产环境。”

为提供生产级性能,S540可以在最多48针上执行参数测量,而不用改变电缆或探头插件设施。它还可以执行高达3kV的晶体管电容测量,如Ciss、Coss和Crss,而无需手动重新配置测试引脚。S540还提供了pA级测量性能,可以在不到1秒内执行全自动高压泄漏电流测试,进一步提升了测试产出。

作为标准商业产品,S540提供了可以全面追踪的系统指标,满足安全规范,并提供了诊断功能及全球服务和支持,而内部开发或定制的系统经常会缺失这些功能。S540秉承吉时利30余年的半导体参数测试经验,把行业领先的半导体测试仪器与高低压开关矩阵、线缆、探头插件适配器、探头驱动器和测试软件整合在一起。

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