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[导读]据韩国媒体koreaherald报道称,三星电子的半导体设备供应商——Semes的两名前雇员因涉嫌参与窃取技术而被起诉。据韩国水原地区检察官办公室周二称,这两名 Semes 前员工涉嫌向一家未公开的中国实体出售关键的晶圆清洗机——据信与 Semes 的设备相同。这两名Semes 前员工和 Semes 的供应商的另外两名员工被检察官以违反《防止不正当竞争和商业秘密保护法》的罪名起诉。

据韩国媒体koreaherald报道称,三星电子的半导体设备供应商——Semes的两名前雇员因涉嫌参与窃取技术而被起诉。据韩国水原地区检察官办公室周二称,这两名 Semes 前员工涉嫌向一家未公开的中国实体出售关键的晶圆清洗机——据信与 Semes 的设备相同。这两名Semes 前员工和 Semes 的供应商的另外两名员工被检察官以违反《防止不正当竞争和商业秘密保护法》的罪名起诉。

据透露,包括两名前 Semes 工程师在内的四名嫌疑人通过将专门提供给三星的Semes设备移交给中国实体,从而获得了 800 亿韩元(6280 万美元)的收入。报道称,该设备被认为是三星尖端半导体芯片技术的关键。在芯片制造过程的最初阶段,使用清洁设备保持晶圆的清洁至关重要。随着晶圆变得更薄,该工艺需要更复杂的方法。克服技术障碍的方法之一是设备使用超临界流体状态的二氧化碳来清洁晶圆,与使用其他流体(如超纯水)清洁相比,这大幅减少了对晶圆的损坏。据SEMES官网介绍,其SUPER CRYSTAL系列清洗机是世界第一台超临界设备,采用无倾斜技术(高萃取/高溶解度),具备高通量和稳定性,能够去除19nm的颗粒。

据 TheElec 报道,三星电子的芯片制造设备子公司 Semes 周五表示,其 2021 年全年的收入为 3.12 万亿韩元(约 161.93 亿元人民币),营业利润为 3533 亿韩元(约 18.34 亿元人民币)。这是该公司迄今为止最好的年度业绩。与 2020 年相比,收入和营业利润也分别增长了 41% 和 24%,这是其目前最高的年度收益。Semes 表示,晶圆厂设备占其 2021 年收入的 75%,而平板显示设备占 1.7%。2020 年,晶圆厂设备占其年收入的 61.24%,而平板显示设备占 9.9%。

集成电路产业链包括设计、制造、封装测试三个环节,其中制造需要由多种集成电路设备来实现。现在,全球晶圆厂持续扩张,对设备需求进一步加大,中国大陆地区的需求尤为强烈,2020年中国大陆地区已成为全球最大集成电路设备市场。集成电路的多层堆栈技术与鳍型栅晶体管技术的广泛应用导致对设备需求进一步加大。作为全球最大的消费半导体和半导体设备市场,以光刻机为代表的半导体设备一直是中国半导体行业“卡脖子”的关键词和挥之不去的痛。但随着清洗设备、薄膜设备等国产设备的不断突破,国产设备在各个高端领域将很快迎来追赶。

清洗设备是贯穿半导体产业链的重要环节,用于清洗原材料及每个步骤中半成品上可能 存在的杂质,避免杂质影响成品质量和下游产品性能,在单晶硅片制造、光刻、刻蚀、沉积等关键制程及封装工艺中均为必要环节。

随着集成电路制程工艺节点越来越先进,对实际制造的几个环节也提出了新要求,清洗 环节的重要性日益凸显。清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物 等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效 率,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的 33%。

同全球半导体设备市场一样,全球半导体清洗设备市场呈现着高度垄断、强者恒强的局 面。目前,国际上共有 5 家企业在生产单晶片清洗设备,分别是 Screen Semiconductor Solutions,Tokyo Electron,Lam Research,SEMES 和 ACM。在整个清洗设备市场,日本公司占据了主导,约 60%的市场份额由日本 Screen(迪恩士)占据,30%的市场 份额被日本 Tokyo Electron(东京电子)占据。半导体高端材料方面,日本长期保持绝对优势,日本是全球最大的半导体材料生产国,其中,高纯度氟化氢是半导体清洗制程 中必备材料,日本在全球市占率为 70%。

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