沈阳芯源公司“集成电路InFO工艺制程涂胶显影机研发与产业化项目”获评辽宁省科技进步一等奖

日前，辽宁省人民政府发布了关于2019年度辽宁省科学技术奖励的决定。沈阳芯源微电子设备股份有限公司提报的“集成电路InFO工艺制程涂胶显影机研发与产业化项目”被评为辽宁省科技进步一等奖。

该项目通过自主研发，突破了集成电路后道先进封装InFO工艺涂胶显影设备关键技术，并进行集成创新，使设备整体技术达到国际先进水平。该项目产品于2016年成功拿下台湾市场批量订单，实现进口替代。

未来，芯源公司将不断加大创新力度，为客户提供更加优质可靠的产品，助推国产半导体产业进步，成为受社会尊重的世界级企业!