岛津推出防反射膜成膜装置“MCXS”及 电池板检查装置“SCI”系列

21ic讯 针对晶体硅太阳能电池片的生产工艺，岛津制作所即将展开减反射膜成膜装置“MCXS”以及检查装置“SCI”系列2种机型的销售。

目前，中国正在从确保需求和扶持本地企业等观点出发导入太阳能优惠政策，而美国和印度则已经具备了太阳能光伏发电系统的良好条件，同时在日本，已经开始启动可再生能源的固定价格购买机制,在上述国家和地区，太阳能电池市场正在逐步扩大。此外，从长远观点来看，伴随着发展中国家的经济增长和生活水平的提高，能源需求正在急剧增加，特别是具备良好日照条件的非洲、中东、南美、东南亚等地区，估计这种需求会进一步扩大，预计到2030年，输出发电量将为 2012年的3.2倍，即，128,600 MW*1。

在此情况下，可以进一步降低制造成本，并且具备更高耐性、以期能够解决目前造成大型太阳能发电站等太阳能光伏系统全体输出降低的重大问题PID(Potential Induced Degradation：电压诱发输出衰减)的太阳能电池需求更加突出。

而作为能够实现减少太阳光反射、提高能量吸收，有助于提高发电效率的减反射膜及其成膜装置，更应该以此需求为课题，不断追求更高标准性能和生产效率。

为此，岛津公司通过采用新开发的中空阴极等离子源和直接等离子法，成功开发出具备高产能、低运行成本，且具有更高PID耐性的减反射膜成膜装置(CVD)“MCXS”。本装置，通过高密度等离子修复硅片表面和内部存在的结晶缺陷，改善太阳能电池多的特性，进而提高转换效率。

此外，因采用低频、高密度等离子进行高速成膜，使用“MCXS”生产的晶体硅太阳能电池组件具备高PID耐性，该特性已经获得了日本独立行政法人产业技术综合研究所(AIST)主办的“第二期高可靠性太阳能电池模块开发、评价联盟”的验证结果证实。本成果，亦于2013年3月28日在“第60届应用物理学会春季学术讲演会”上发表。

而另一方面，太阳能电池的品质竞争也更加激烈。生产效率在不断提高，品质管理更加严格，目前在太阳能电池板的生产工序中以人工检查为主的现状，迫切需要升级为自动化检查方式。

针对上述需求，岛津新近开发了可以以1台设备同时检查硅片微裂隐裂和外观的复合检查装置“SCI-8SM”和业内最小尺寸*2的外观检查装置“SCI-8S”。

此检查装置，对于防止因生产线停止造成的长时间生产中断和提高成品率具有显著效果。

我公司希望通过向日益扩大的太阳能电池市场提供上述3个产品，为普及环保型可再生能源做出贡献。

《MCXS的特长》

1. 高PID耐性获得实证

这次在AIST进行的试验，在摄氏25℃、组件表面玻璃处于浸水状态、施加电压1000 V的条件下，持续实施168小时。其结果，使用我公司成膜装置制作而成的太阳能电池组件，未发生输出降低现象。

本产品，显然对提供高可靠性太阳能电池有所帮助。

2. 为提高太阳能电池生产能力做出贡献

新开发了可以生成高密度等离子的中空阴极等离子源，通过提高原料特气的分解效率，实现了采用直接等离子方式的业内最高成膜速度(100 nm/min以上)。此外，通过在线式高速搬运机构，与同级别原有产品相比，最高水准可实现每小时1,700枚的高产能，为提高整个生产线的生产能力做出贡献。

3. 实现低成本

除采用高速成膜、立式基板配置实现了装置小型化外，还通过延长维护周期，将消耗电量减至我公司原有机种1/3，运行成本减至1/2，降低了维持费和维护费。换而言之，本产品在太阳能电池制造过程中，降低了能源成本，提高了原料气体的使用效率，是采用了节能设计的制造装置。

《SCI-8SM的特长》

1. 同时对微裂隐裂和晶圆外观进行高速检查

对转换效率以及对生产过程中的破损率会造成不良影响的微隐裂(晶圆内部的细微裂纹)检查，对硅片外形的裂纹或凹凸、减反射膜上的颗粒、膜厚及分布测定等晶圆外观检查，过去需使用不同检查装置进行检查，而现在通过一台设备即可全部实现高速检测，计测时间为1秒/枚以下。

2. 缩短膜厚测定时间

传统装置需要使用多个标准样品进行膜厚测定，为制作标准曲线等，在检查前需要5个小时以上的准备时间。本装置通过可见光的反射强度，基于光学理论、独家开发的测定原理对膜厚进行高速计算，无需准备时间，可即刻开始进行测定。

《SCI-8S的特长》

业内最小尺寸

通过使用独家开发、可将偏差减至最小的光学系统，在保持SCI-8SM同等高功能的同时，与同级别原有产品相比体积缩小15%，成为业内最小尺寸的外观检查装置。

本产品不仅可用于新设生产线，也可在现有生产线的有限空间进行追加改造，为提高电池片质量做出贡献。

名称：

晶体硅太阳能电池用减反射膜成膜等离子CVD装置“MCXS”

晶体硅太阳能电池用复合检查装置“SCI-8SM”

晶体硅太阳能电池用外观检查装置“SCI-8S”

系统价格：

MCXS 1亿7千万日元(包含自动传送机，不含税)

SCI-8SM 1千万日元(包含照明电源，不含税)

SCI-8S 5百万日元(包含照明电源，不含税)

尺寸：

MCXS 4000 (W) × 7500 (D) × 2500 (H) mm(装置主体、包含自动传送机)

SCI-8SM 306 (W) × 310 (D) × 951 (H) mm(装置主体、包含照明电源)

SCI-8S 193 (W) × 193 (D) × 315 (H) mm(装置主体、不含照明电源)

销售计划:

MCXS 20台(第一年度)

SCI-8SM 15台(第一年度)

SCI-8S 20台(第一年度)

照片：防反射膜成膜用等离子CVD装置“MCXS”

照片：复合检查装置“SCI-8SM”(左)、外观检查装置“SCI-8S”(右)