大日本网屏开发成功VOC排放量为零的300mm晶圆清洗装置

大日本网屏开发成功了不使用溶剂而使用干燥空气的300mm晶圆清洗装置用干燥模块。此前晶圆的干燥工序使用的是IPA（异丙醇，(CH3)2CHOH），而此次采用了向清洗后的晶圆吹送干燥空气进行干燥的新技术。IPA是大气污染法禁止使用的VOC（挥发性有机化合物）的一种。由于不使用IPA，因此可以减小环境污染。

新模块使用的干燥空气的露点非常低，即使到-70℃也不会结露，因此清洗后的水分可以在很短的时间内清除。处理时间与使用IPA相比，大约只有1／2。

由于不使用IPA，还可以大幅降低运用成本。在使用原来的模块时，每台装置每年大约要使用1万6206升IPA。这一费用每年可以削减约900万日元，据大日本网屏推算，每年的运用成本最多可以缩减至原来的1／8。

此次的模块已开始在该公司2005年上市的批量式清洗装置“FC-3100”中嵌入销售，模块单体价格没有公布。嵌入新模块的装置与采用原模块的装置相比，“价格多少要高一些”（该公司公关室）。FC-3100的售价为3亿～4亿日元（因规格而异）。采用原模块的机型与采用新模块的机型均在这一价格范围内。采用新模块的FC-3100将从2008年12月开始销售。