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[导读]电子产品设计中的“明星”——MEMS传感器虽然MEMS(微电子机械系统)技术被用于安全气囊和汽车压力传感器领域已有二十年左右,但却是任天堂Wii和苹果iPhone的热销带活了MEMS市场的应用。可以毫不夸

电子产品设计中的“明星”——MEMS传感器

虽然MEMS(微电子机械系统)技术被用于安全气囊和汽车压力传感器领域已有二十年左右,但却是任天堂Wii苹果iPhone的热销带活了MEMS市场的应用。可以毫不夸张的说:“这是一场声势浩大的市场拉动MEMS应用的革命”。MEMS当之无愧成为电子产品设计中的“明星”。本次半月谈将带给您有关MEMS传感器的应用,MEMS传感器的设计,商机及趋势等内容。期待您的关注。

无论NokiaN95/N96、黑莓手机、三星的Omnia还是宏达的Diamond——当然还有苹果iPhone,在如今几乎所有热销的智能手机中,MEMS技术都扮演着非常重要的角色。MEMS(微机电系统)就是在一个硅基板上集成了机械和电子元器件的微小机构。在代工厂中,通过对电子部分使用半导体工艺和对机械部分使用微机械工艺将其或者直接蚀刻到一片晶圆中,或者增加新的结构层来制作MEMS产品。作为纳米科技的一个分支,MEMS被称为电子产品设计中的“明星”。

应用篇

微机电运动传感器(MEMSMotionSensor)技术主要应用于汽车电子领域,但是凭借WiiiPhone的热卖,该技术一举在消费电子市场也闯出了一片天地。MEMS运动传感器囊括多种传感器技术。用来测量物体加速度的传感器叫做加速度传感器(加速度计);用来测量物体角速度的传感器叫做角速度传感器(陀螺仪);也有将二者相结合的惯性测量单元(IMU;InertialMeasurementUnit)。另外,还有测量高度变化的气压计,以及感测绝对方向的电子罗盘。点击《微机电运动传感器应用领域》了解详情。

设计篇

先前绝大部分的电子产品依靠石英晶体来提供可靠稳定的频率信号,不过近几年由于MEMS技术设计制造的电子零件,在许多应用领域不断提供电子产品创新且质优的设计,其中包括MEMS谐振器零件在许多应用开始取代石英晶体:例如所谓MEMS振荡器内部所采用的谐振器,即是使用毫米级大小的MEMS谐振器,作为MegaHertz级别的振荡源。除了创新谐振器的MEMS技术,振荡器内部的振荡电路设计亦开始进行中。MEMS技术设计脱颖而出《MEMS振荡器技术设计思路》。

商机篇

据德国慕尼黑的一家市场资讯公司WichtTechnologieConsulting(WTC)的分析家们预计,用于航天、国防和国土安全的微机电系统(MEMS)的市场份额将从2005年的1亿美元翻番,达到2009年的2.65亿美元。WTC的专家们指出,微机电系统(MEMS)技术用于国防的潜在机会包括航空动力、机动性、隐身、传感、发电和管理、智能结构和材料。更多商机请看《国防和航天MEMS市场2009年将达到2.65亿美元》。

趋势篇

虽然MEMS(微电子机械系统)技术被用于安全气囊和汽车压力传感器领域已有二十年左右,但却是任天堂Wii苹果iPhone的热销使人们更广泛地了解惯性传感器的用途,这些产品使用了基于运动感测技术的用户界面。尽管如此,在一定程度上业界的观念仍停留在惯性传感器主要是用于终端产品检测加速度和减速度的应用。从纯粹的科学角度来看,这种说法完全正确,但这样的观点却忽略了许多MEMS加速计和陀螺仪的扩展应用,包括在医疗设备、工业设备、消费电子产品和汽车电子等领域。《利用MEMS惯性感测技术实现应用变革》将告诉您未来的技术变革是什么?

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