平台先行 提高本土MEMS供给能力

【赛迪网讯】微系统（MEMS）横跨集成电路和传感器两大领域，代表着国家尖端科技和核 心基础产业的发展水平。在国家相继出台的《物联网“十二五”发展规划》、《电子信息制造业“十二五”发展规划》、《集成电路产业“十二五”发展规划》、 《“十二五”国家战略性新兴产业发展规划》中，新型传感器、微系统（MEMS）、智能传感器的产业化被列入到核心关键技术发展路线图，得到国家产业政策的 大力扶持，因而也被各地广泛关注。

中国MEMS产业正处于从科研成果向产品化转变的关键时期，应该遵循MEMS的发展规律，坚持工艺先行、长期投入，着力建设开放式的MEMS工艺平台，做好产业发展的各项保障。

由于MEMS相对于其他产业周期长、难度大，政府营造良性的产业发展环境，必须遵循 MEMS发展的客观规律。研究MEMS的发展历程，每一代新产品从概念到应用，都要经过提出理论、发明新工艺、研制新器件、批量生产的过程。随着90年代 的全球MEMS商业化浪潮兴起，以企业为主体的MEMS研发、生产、应用体系在国外已经发展成熟，但在中国还处于艰难的形成阶段。中国发展MEMS产业， 应优先搭建公共服务平台，走工艺和设计并行的道路，长期进行产业化投入。以美国为例，1962年Kulite公司首次研制出硅微压力传感器，使用硅膜、压 敏电阻和体硅腐蚀，成为MEMS微传感器和MEMS体加工（Bulk micromachining）的起始点；而直至1974年，美国国家半导体公司才推出优化过的压力传感器，开始批量生产，前后历经12年的时间跨度。

目前，国内MEMS工艺平台承载有限，增强平台建设是目前产业界迫切需要解决的首要问 题。虽然中科院微系统所、中电科技集团第十三研究所等科研机构建有MEMS工艺平台，但随着MEMS产业进入新的发展阶段，军工、科研系统产品逐渐稳定， 批量化的生产使产线的运行处于相对饱和，而高等院校在产线的管理和利用方面存在天然瓶颈。同时，作为产业创新主体的企业，面对庞大的前期研发费用，和行业 普遍存在的人才缺口，在MEMS产业化道路上举步维艰。因此，MEMS工艺平台需要承担起培育产业、培养人才、支持创新的责任，为广大企业服务。

建设MEMS工艺平台应充分考虑资金的投入产出比，以相对经济的方式购买先进设备，为有 潜力的企业提供产业化前期的研发服务。MEMS工艺平台应具有开放性，广泛服务致力于MEMS产业化的各类企业：其一为中小型设计公司，一般由海外归国人 员创办，技术基础较好但需要国内提供相对完善的流片服务，以便以较低的成本打开市场；其二为具有雄厚实力的大型公司，一般从事综合性业务或供应整机，出于 垂直整合的需要向产业链上游拓展，力求掌握更多的核心技术来控制成本，在研制MEMS产品初期需要政府提供工艺平台调试产品。

借助MEMS公共服务平台促进产业发展，不能“重建设、轻运营”。MEMS公共服务平台 的主要作用是支持企业研发，平台的运营涉及多个利益相关者的切身利益，因此管理机制非常关键，决定了平台运营效率和对产业的带动作用。首先，平台运营需要 在法律和制度的保障下进行，尊重、保护企业的知识产权和商业利益，按照成熟市场的商业规则规范地运行。其次，平台运营需要充分进行市场开拓，以贴补产线运 营所产生的大量费用，维持基本的盈亏平衡。最后，平台运营要真正做到开放性，包括所有设备资源、研究场地、技术支持等，通过申请的研究所、高校和企业均享 有平等的机会从事科研和产品的开发。