CMEMS制程

CMEMS技术是由时序解决方案供应商Silicon Labs与中芯国际合作开发一种CMOS+MEMS创新制程。此技术结合许多超越传统振荡器制造的优点，包括可扩展性、客户可编程性、0天样品生成及长期可靠性和效能。

Silicon Labs于2004年推出石英振荡器(XO)系列产品，运用创新和专利的混合讯号专业技术，从单一基于晶体的参考频率中生成任意的频率输出，免去不同频率所需的特定晶体，因此大幅简化晶体制造技术流程，包括特定切片与电镀，这可以让整体交期缩短到2周以内。

随着CMEMS出现，Silicon Labs再次带给频率控制市场重要的技术进展。CMEMS采用微机电半导体谐振器取代XO当中的晶体谐振元件，此一技术更可将高效能MEMS直接建构在标准的CMOS晶圆上，且制程线宽可小于180奈米。结合混合讯号知识，CMEMS技术可以采用单一参考频率，生成几乎所有频率输出。