硅谷IMT公司的最新MEMS技术开创医疗应用新领域

MEMS是近年来最受关注的模拟技术之一，据iSuppli报告显示，从2010年至2015年MEMS的销售额年复合增长率是11%。笔者日前在硅谷采访的MEMS公司IMT(Innovative Micro Technology)，将MEMS技术应用到细胞分选仪医疗设备上，为癌症治疗带来更为先进的方法。

图1：IMT今年1月上任的CEO Craig Ensley认为MEMS在医疗上的应用非常有意义

IMT公司的业务涵盖了RF、红外、能源、测试、生命医疗、生物技术、光学和导航等多个领域。IMT公司提供MEMS代工业务的同时，自主设计生产的MEMS产品也处于领先地位，例如IMT公司的开关出货量达到6200万片，超过了其它MEMS厂商的总和。它还能够提供最精细的MEMS，在单个芯片上的漏孔可达到100万个，精度达到22纳米级；IMT还拥有世界上最快的MEMS技术，平均加速度可以达到惊人的12,000Gs。

据IMT公司的CEO Craig Ensley表示，IMT的MEMS技术在敏感度和复杂度达到世界第一。“公司有6寸的晶圆厂，工艺可达到0.3微米，年产能约为45,000个晶圆，可以为客户提供Turn-key MEMS foundry服务。IMT公司有42个MEMS技术专利，已经申请待批的专利有49个。”
在此次媒体见面会上主要介绍的是一款用于医疗设备细胞分选仪上的MEMS技术。


图2：Nanosorter设计已经在医院中开始使用

“最近我们宣布了与Owl生物医疗公司业务授权合作，IMT公司的MEMS已经用于Owl的的细胞分选仪Nanosorter上。采用了IMT公司的Cell Sorter后，细胞的存活率从50%提升到了97%以上，细胞的筛选率达到了每小时200M个。这大大提升了细胞治疗如癌症、慢性心脏疾病、淋巴疾病和代谢类疾病的治疗效率和治疗成本。”

Craig认为，这一次能够将MEMS技术应用到“拯救生命”的医疗设备上，相比之前的一些“比较酷”的应用，意义要大得多。Owl公司与IMT在2011年就签订协议，打算将Nanosorter技术以授权方式全球推广。