午夜艳阳下的芬兰MEMS聚落

第二天，在天气晴朗、万里无云的早晨，我抵达了MEMS晶圆制造商Okmetic Oyj公司。

Okmetic 公司位在芬兰的Vantaa。该地目前也正在发挥群聚效应。

在这里，我见到了Okmetic公司的两位高阶主管：

资深产品副总裁Anna-Riikka Vuorikari-Antikainen，以及资深研究副总裁Markku Tilli。

从单晶矽到石墨烯

在与Okmetic CEO Kai Seikku和他的团队进行访谈时，我们可以看到Okmetic将单晶矽切成矽晶圆的摆设。

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Okmetic公司会议室的摆设之一。

这次访谈中，Okmetic也谈到了该公司最近开始外包晶圆生产的策略(请见MEMS wafer maker Okmetic outsources amid SOI push )，并说明了当地附近正在逐渐形成的MEMS聚落包含了哪些单位。

赫尔辛基周边的MEMS聚落包括Aalto大学和VTT研究中心。另外，一些崭新的材料，如石墨烯，也预计将在未来的MEMS发展中发挥作用。

赫尔辛基的夜晚

Okmetic 的Anna-Riikka Vuorikari-Antikainen、芬兰VTT Technical Research Centre的研发副总裁Jussi Tuovinen；还有Murata Electronics Oy的产品开发经理Anssi Blomqvist和我，一起花了点时间游览了赫尔辛基市区。

这是由雕塑家Felix Nylund 在1932年发表的著名「三铁匠」(Three Smiths)雕像。对面是赫尔辛基最有名的百货公司Stockmann。

老字号的卡贝里咖啡馆(Kappeli coffee)曾是令十九世纪作曲家Jean Sibelius流连忘返的地方，Jussi Tuovinen表示，Kappeli不但是学生们热爱的聚会地点，芬兰的独立思想也诞生于此地。

[!--empirenews.page--]眺望包含了瑞典堡垒和赫尔辛基海港的小岛。

ByeBye~~VTI； Hi，村田！

为什么？为什么芬兰的饭店不能用厚一点的窗帘把光给遮住？答案很简单，因为这样一来，无论当地居民或是游客，都可以感受到凌晨三点直射房内的炽热夏天阳光。

接着，我来到已经被村田制作所收购的VTI Technologies Oy公司，该公司现已正式更名为Murata Electronics Oy 。

村田在Vantaa的MEMS制造厂。

Murata Electronics Oy公司总裁Tsuneo Murata自该公司更名第一天起就长驻此地。我曾经采访过他，并写过一篇有关村田希望从MEMS朝物联网(Internet of Things, IoT)扩展的文章。

在村田Vantaa公司大厅内展示的村田男孩(Murata-boy)，它能够平衡地骑在自行车上。

VTT和芬兰的MEMS聚落

现在，我的芬??兰MEMS聚落巡礼来到了最后一站──位在Espoo的芬兰VTT技术研究中心(VTT Technical Research Centre of Finland)。

这座微奈米研究中心(Micronova)包含了150mm-/200mm晶圆厂，用来支援VTT和Aalto University的多个研究专案。

[!--empirenews.page--]另外，一家名为VTT Memsfab Ltd.,的小型代工厂也会利用这座晶圆厂来提供服务。VTT Memsfab成立于2011年1月，隶属于VTT集团旗下。

VTT在MEMS元件的研究方面素负盛名。VTT的高性能微系统专案领导人Aarne Oja教授负责研究矽薄膜MEMS麦克风；另外还有资深研究科学家Jarkko Antila专长于光学元件和测量技术。Antila也谈到了如何使用基于法布里-珀罗干涉仪(Fabry-Perot Interferometry)原则的MEMS技术来开发光学感测器。

最后，Jussi Tuovinen表示，MEMS领域的所有参与者都应该强化合作关系。过去几年来，我们已经看到所谓的异构技术联盟(Heterogeneous Technology Alliance, HTA)成立，近年来更看到VTT和瑞士CSEM、德国Fraunhofer研究院，以及法国CEA-Leti的合作。Tuovinen接着指出，目前HTA已经拥有一个通用的SOI-MEMS平台。

Tuovinen同时谈到了MEMScat计画，该计画旨在促成芬兰建构出完整的MEMS生态系统。这项计画的主要目的是尽量协助新创公司，降低开发相关产品及系统的成本和门槛。此外，MEMScat计画的另一个目标，则是吸引更多企业、创业家和工程人员到芬兰的MEMS 聚落寻找梦想。

芬兰的MEMS价值链。/ 资料来源：VTT技术研究中心

如果我是企业家或工程师，我会想去赫尔辛基开拓我的MEMS业务吗？是的，不过，他们得先装上厚一些的窗帘。