模拟器件谈MEMS传感器：致力于汽车产业设备及医疗器械等

本文为对利用MEMS技术制造加速度传感器和陀螺仪传感器等的美国模拟器件公司（Analog Devices）日本法人的采访。（采访者：根津祯）

目前，我们通过致力于追求更高性能的领域来开展MEMS传感器业务。比如汽车、产业设备以及医疗器械等。这些均是今后有望实现高度成长的领域。

在检测汽车、产业设备以及洗衣机等使用的马达的振动情况，以判断是否发生异常的用途中，利用3轴加速度传感器。通过利用FFT分析发生的振动的频率成 分，来推测振动发生的位置。例如，如果在低频带宽发现异常振动，可推断是马达外侧的盒子发生异常，如果在中频带宽，可推断是轴承部分发生了异常。

我们面向这类用途销售“ADXL001”和“ADIS16227”。ADXL001的特点是，可检测的频率带宽高达22kHz。由此，还可以检测 8kHz的高频率帯的振动。其特点还包括，检测范围达到±70g～500g。ADIS16227在可检测的频率带宽高达22kHz的基础之上，还具有 FFT信号解析功能。

我们的加速度传感器除了检测振动之外，还可用于检测汽车的行李架、医疗器械的床体以及飞机等的倾斜角。在这类用途中，主要用来检测±20g以下的相对 比较缓慢的动作。例如，3轴产品“ADXL345”、2轴产品“ADXL203”和“ADIS16209”等用来检测倾斜角。其中ADXL203由于温度特性出色，上市已经过了约7年，仍在继续销售。ADXL203具备0g时的“偏置（Offset）温度系数”为0.1mg/℃的温度特性。

另一方面，陀螺仪传感器用于检测直升机、船舶以及无人驾驶飞机等的旋转动作和方向变化。例如，1轴产品“ADXRS450”和“ADIS16265”。ADXRS450的特点是，对线性加速度的敏感度只有0.03度/秒/g，提高了冲击时的测量精度。

采用MEMS技术的陀螺仪传感器利用振动的物体上的“科氏力”来测量角速度。因此，会受到外部冲击的影响。所以，ADXRS450以两个传感器电路为一组，共计利用了两组四个传感器电路，从而消除了外部冲击的影响（图1）。

ADXRS450可提供采用16端子SOIC封装和名为“VMP”的自主封装的两款产品（图2）。VMP支持纵横两面的表面安装，以其中一个面为下进 行安装时，可检测首摇（Yaw，z轴）的动作，以另一面为下安装时可检测横摇（Roll）或纵摇（Pitch，x轴/y轴）的动作。也就是说，通过改变安 装面，可以检测到想要检测的旋转动作。


图1：ADXRS450的内部（点击放大）

图2：VMP封装（点击放大）