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[导读]日本电子(JEOL)开发出了离子束聚焦(FIB)加工观察装置“JIB-4000”。将在2010年12月举行的“SEMICON Japan 2010”上展出,同时开始销售。 据日本电子介绍,此次的装置是为了满足让任何人均可轻松获得再现性较

日本电子(JEOL)开发出了离子束聚焦(FIB)加工观察装置“JIB-4000”。将在2010年12月举行的“SEMICON Japan 2010”上展出,同时开始销售。

据日本电子介绍,此次的装置是为了满足让任何人均可轻松获得再现性较高的数据这一要求而开发的 。该公司介绍了装置的特点:加工方面,可利用大电流离子束更快更精细地加工样品,通过利用低加速电压加工,可降低加工时的样品损伤。操作性方面,配备了各操作员均可登录或退出的管理软件。此外,还列举了采用省空间设计、配备节能模式及配备气体注入系统(gas injection system)等特点。主要的性能参数方面,离子源采用了液体金属镓(Ga),保证分辨率为5nm(加速电压为30kV时),最大束电流为60nA(加速电压为30kV时),加速电压为1~30kV,样品通过5轴马达工作台移动。该装置的标准价格为4600万日元以上。(记者:长广 恭明)



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