[导读]MEMS是受微电子技术启发并在其基础上发展起来的，是微电子加工技术和多种微机械加工技术相融合而形成的微型系统。完整的MEMS是由感知外界信息(力、热、光、生、磁、化等)的微传感器、控制对象的微执行器、信号处理和
MEMS是受微电子技术启发并在其基础上发展起来的，是微电子加工技术和多种微机械加工技术相融合而形成的微型系统。完整的MEMS是由感知外界信息(力、热、光、生、磁、化等)的微传感器、控制对象的微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。MEMS具有集成电路系统的许多优点，如微型化、以硅为主要材料，机械电气性能优良、可批量生产、集成化等，同时又集约了机械、材料、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科发展的尖端成果，具有多学科交叉，多技术融合的特点。
在医疗电子应用领域，MEMS技术的目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，这样不仅可以降低机电系统的成本，而且还可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可以嵌入大尺寸系统中，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。MEMS技术开辟了一个全新医疗电子产业。
大多数业内观察家预测，未来5年MEMS医疗器件的销售额将呈迅速增长之势，年平均增加率约为21%，因此对医疗电子产业的发展提供了极好的机遇。
MEMS已从实验室走向市场，在医疗电子领域的应用日益普遍，其产品不仅开拓了极为广泛的应用领域且具有十分强大的市场竞争力，医疗电子和诊断设备为MEMS的应用提供了更大的舞台。
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