七星电子概况

北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)是国内知名电子专用设备供应商，是我国最早的半导体设备研制企业，是我国第一台半导体扩散炉、第一台等离子刻蚀机、第一台气体质量流量控制器研制企业，也是我国最早的半导体清洗设备研制企业，完成国内首条半导体生产线中6项关键设备的研发制造。

七星电子多年来一直承担着国家多项科技重大专项研发任务，先后进行了12英寸立式氧化炉、清洗机及气体质量流量控制器等产品的研发。

目前，七星电子已成长为我国电子专用设备龙头企业之一，是中国电子专用设备工业协会理事长单位、北京电子制造装备行业协会会长单位、SEMI行业协会会员。

七星电子研制的国内首台300mm立式氧化炉设备，应用于集成电路生产线90/65nm工艺中的20~1000埃氧化膜生长及退火等工艺。该设备重点解决了设备及工厂自动化、氧化炉温度场和气流场分布、颗粒控制、微环境氧含量控制等关键技术问题，采用自主研发的性能优异的MBTC温度控制系统，不仅解决了传统PID温控系统在灵活性和稳定性方面存在的不足，并且在温度场的快速建立及恢复方面具有极佳的特性。全球只有包括七星电子在内的三家企业可以制造该设备。目前，已完成300mm立式氧化炉样机研制，并在中芯国际生产线上完成了大部分的测试及工艺验证工作。

七星电子应用在超大规模集成电路硅片制程的铜互连工艺阶段的300mm 65nm铜互连清洗设备，其设备技术指标已达到国际同类产品先进水平。该设备采用单片多腔室结构，具有占地面积小、结构紧凑、高度自动化、超强稳定性等优点。设备提供工厂集成接口，符合SEMI E15.1，完全AGV，OHT 兼容，满足SECS/GEM和HSMS接口协议。清洗后可达到：无光刻胶和聚合物残留;刻蚀通孔侧壁无铜的残留物;与铜及电介质材料如FSG、SiN等相容性;在铜表面形成保护钝化膜层;缺陷率满足65纳米技术带的要求(如颗粒指标、水印等)。清洗机设备已完成样机研制，即将进入工艺验证阶段。

七星电子在高效薄膜设备及工艺、晶硅自动化技术方面，已掌握核心技术，以良好的质量与服务装配了国内外多条生产线。涉及光伏的主要产品包括：单晶炉、多晶硅铸锭炉、扩散炉、PECVD、制绒清洗机、去PSG清洗机、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。尤其在光伏大规模生产线上得到大量使用，其技术水平、产能、成本控制及自动化程度都已达到世界领先水平。

七星电子研发的SSD8571A扩散炉，采用了高精度、智能化、多点控温技术，保证了对炉内温度控制的快速稳定，确保了控温数据的快速反应以及准确性。自动压力平衡装置，使炉内外压差为定值，且可根据工艺需求改变设定，从而提高了工艺均匀性以及工艺扩展性。设备单片COO下降20%，单位综合能耗下降20%以上，设备安全运行时间实属国内领先，设备维护成本低廉。在客户现场运行的实验数据一直处于国内领先水平，甚至赶超国际一线厂商的水准。该设备实现了MES与设备端的数据交互。

同时，七星电子研发的SSP8471A管式PECVD为单管产能全球最高设备，电池片转换效率高，属于世界先进水平。该设备具有独特的射频引入方式，且全自动运行并预留倒片接口。设备工艺均匀性高，差异小于 3%，配备了全自动上下料系统，碎片率≤0.1%(人为失误及隐痕裂片除外)。此外，UPTIME≥95% (总时间-正常维护时间-异常停机)/总时间。该设备也实现了MES与设备端的数据交互。

七星电子是中国气体质量流量计产品的领先制造商。产品国内目标市场占有率达80%。2010-2011年，已实现燃料电池用气体流量控制器研发、投产，技术处于国际先进水平。且12英寸集成电路气体质量流量控制器也已完成研发，进入小批量生产阶段。

由七星电子自主研发的CS系列质量流量控制器产品，通过了省部级新品鉴定，该系列产品的各项技术指标均已达到国际一流标准，产品技术填补了国内空白。其中，CS200系列气体质量流量计产品在核心技术上取得了新的突破，它采用恒功率传感器、全金属密封结构、基于VCP的阀控技术、全数字信号处理和控制方法以及数字化高精度的生产标定工艺，所有设计符合SEMI标准，已经取得了CE认证。该产品目前已经在光伏行业内应用于100多条大型生产线中，得到了用户的高度认可。CS300系列产品专为半导体行业设计生产，除了具备CS200产品的性能之外，其与气体接触的零件表面均经过电化学抛光处理，粗糙度达到Ra 5μinch;与气体接触的零件表面化学成分：Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃)，具有压力补偿功能，支持1.125,1.5英寸W，C，B型IGS气路系统。

七星电子近年进行光伏逆变器的研发与生产，公司的光伏并网逆变器满足CE标准及安规要求，并进行了德国TUV认证和我国金太阳认证，设计合理，功能全面，能效性良好。不仅拥有先进的技术水平，而且能够根据客户需求进行人性化设计，提供高端的用户体验和品质保证。

七星电子于2005年加入SEMI协会，多年来大力支持SEMI主办的各项活动，通过参加SEMICON CHINA展会及各种研讨会等进行行业交流。此外，七星电子积极参与SEMI关于行业标准的制定，并以SEMI标准指导产品的研发和设计，得到了行业内的广泛认可，不断提高产品的国际化水平。一直以来，七星电子密切关注行业动向与产业发展形势。通过积极参加SEMI主办的SEMICON CHINA等行业盛会以及具有前瞻性的各种专业研讨会，保持与行业内的交流与沟通，从而紧跟国际尖端技术潮流。