6代LTPS生产线 明年量产

全球掀起高阶面板LTPS（低温多晶矽）、IGZO（金属氧化物半导体）技术投资热，应用材料宣布，推出新的物理气相沉积（PVD）和电浆强化化学气相沉积（PECVD）技术，可以提供5代、6代到8.5代的设备。AKT指出，其中又以日本、大陆投资最积极，明年6代LTPS生产线将陆续量产。

应用材料宣布，推出新的PVD和电浆强化PECVD技术，Applied AKT-PiVot物理气相沉积和Applied AKT-PX 电浆强化化学气相沉积薄膜沉积系统提供高效能、符合成本效益的途径，带动先进材料的量产可用来制造更快速、更小巧的薄膜晶体管，适用于液晶显示器和OLED技术。

苹果的iPhone与iPad面板，均使用LTPS面板，LTPS也成为了高阶行动产品主流技术，带动投资热潮。AKT指出，以现况来看，客户倾向兴建6代新厂，相比过去4.5代厂，面板生产成本估计可以降低20％~30％。而目前又以日本和大陆投资最为积极。大陆京东方今年在内蒙投资了一条5.5代LTPS生产线，而鸿海集团的天亿也在成都砸下人民币220亿元，规划3万片LTPS面板的产能，以及3万片IGZO产能，预计2013年下半年投产。至于日本的JDI和夏普也都投资了6代LTPS生产线。

AKT显示器事业群营销长Max McDaniel表示，针对采用金属氧化物TFT，使用专属的旋转阴极技术来沉积IGZO，这是具有高电子迁移率的新材料，能形成晶体管通道，克服影响显示器质量的显示不均缺陷。此外，由PiVot沉积的铟镓锌氧化物薄膜突破了TFT 稳定性问题，确保OLED可以使用金属氧化物背板，大幅降低成本。

LTPS技术是一直面临玻璃基板放大问题和单位制造成本高昂的挑战。AKT-PX电浆强化化学气相沉积系统的全新扩充系列产品，可在1.6平方公尺到5.7平方公尺的玻璃基板上沉积出极为均匀的LTPS薄膜。这些加大的基板，让面板制造商能够实现经济规模，大幅提高产能并降低成本。