如何应对崛起的国产MOCVD设备？

LED半导体照明网讯 最近华灿光电公告明确表示，“采用国产MOCVD设备开发/产业化超高亮度LED”项目，已于近日接到国家工信部项目立项通知，获批补贴款600万元，专用于项目所需的设备或材料的购置等，目前该款项已到账。同时在日前召开的国际半导体论坛之材料与装备技术分会上无论是中科宏微、还是广东昭信，或是中微半导体，三家对MOCVD设备志在必得的开发投产之势，显然让国际厂商倍具紧迫感。

国产MOCVD高调入市

众所周知，MOCVD是芯片的关键设备，是整个LED产业链中最关键的制造装备。一台进口MOCVD设备的售价目前约为1500万元，其成本占整个芯片设备成本的50%左右。由于技术含量高，制造工艺复杂，目前全球的MOCVD设备市场主要被两家国外设备供应商AIXTRON和VEECO所垄断。

在中国LED产业高速发展的推动下，维易科和爱思强在中国市场可谓赚得盘满钵满。“90%的市场份额都在他们手上，这对国内LED产业发展来说是极其不合理的现象。”中晟光电董事长陈爱华在接受记者采访时表示，中国MOCVD设备占据全球市场约60%，MOCVD设备又占据LED外延芯片成本40%~50%，国产化MOCVD应用与市场对整个LED产业链都是极大利好。

从2011年开始，国内多家LED设备企业开始尝试推出国产化MOCVD设备。据中国LED产业研究中心国内大概已有13家企业涉足MOCVD设备的研发。并且在2012年年末的时候接二连三的传来国产MOCVD试制成功的好消息，足见国产MOCVD在2012年末2013年年初似快刀斩乱麻，势如破竹之势发展，这将意味着我国将打破国外垄断的这种局面，给国产设备增加信心。

国产MOCVD进程

“我们的愿望是向市场提供MOCVD傻瓜机，客户只要第一次了解设备如何使用，今后按照设定好的程序就能比较轻松地完成设备的使用，并实现了从生产到制造的完全标准化和100%国产化。”广东昭信半导体装备制造有限公司技术代表甘志银在论坛上自信十足的表示，“我们在研发过程采取了全程仿真设计，2005年开始研发，2009年投资试产，流程循环也已进行完毕，包括备受关注的温度如何保持稳定性和均匀性，都将在12月底彻底完成，他还表示，“现在共有五台新一代MOCVD设备正在装配生产。”

11月12日，华灿光电公告称，此前申报的“采用国产MOCVD设备开发/产业化超高亮度LED”项目已获工信部批准立项，并获得600万元补贴用于项目所需的设备或材料的购置等。该项目由天龙光电孙公司中晟光电配合实施。这无疑给国产MOCVD诸如强心剂，之前即便是有用国产MOCVD的芯片企业也不愿意讲出自己使用的是国产设备。此次华灿光电高调公告也是国产MOCVD入市的宣言。

作为该项目的合作方中晟光电的相关负责人表示，“我们已经向华灿光电和圆融光电出售了几台设备，且正在同德豪润达等客户接洽，今年截至目前已实现6000万元的销售收入，明年的目标是1.5亿元。”他也表示，国产MOCVD设备抢占市场需要一个长期的过程。“首先是落到实处的政策支持太少，其次是市场信任和认可的培养要耗费大量的时间，再者，LED外延芯片企业生产工艺是基于现有设备设计的，引进新的国产设备势必要做出这方面的改变，这本身也是一个风险。”