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[导读]直到2000年代中期,除Sharp之外,大部分的TFT-LCD面板制造商采用铝或AI(钼Mo或钼合金)于gate与S/D电极上,虽然也有部分设备采用铬(Cr),但90%以上设备仍以AI为主。随着电视面板尺寸的大型化,电极需要更低的电阻金属

直到2000年代中期,除Sharp之外,大部分的TFT-LCD面板制造商采用铝或AI(钼Mo或钼合金)于gate与S/D电极上,虽然也有部分设备采用铬(Cr),但90%以上设备仍以AI为主。随着电视面板尺寸的大型化,电极需要更低的电阻金属,因此提高了对铜(Cu)电极的需求。

铜电极与AI相比其导电率较高,若将配线的粗细制做得相对较细,也几乎不会产生电子信号失常的现象,且能够传送稳定信号。由此可以改善响应速度及亮度等问题。另外,在大尺寸TV面板制造过程更显优势,将不再为了改善导电率,增加其他附加的材料或制程。因此,许多厂商投入大量研发于铜电极制程的量产。

LG Display自2006年开始,为全球第一家厂商将铜电极导入其量产产线之中。并且,LGD在2008~2009年大幅提高了铜电极的应用比重,直至目前大部分的产品均已采用铜电极制程。在LG Display引进铜电极之后,三星Display,AUO,Innolux,Panasonic LCD,Sharp等企业也开始跟进铜电极制程,但直至2010年为止,除LG Display以外,尚无企业能顺利量产铜电极制程的面板。

2010年下半年起,三星电子(现三星Display)为全球第二家厂商开始将铜电极应用于产线,但经历诸多困境,在产线扩大应用方面,花费许多时间,2013年以后,三星Display终于也在大部分的量产产线中采用了铜电极。虽然早期对S/D的铜电极采用比重极为低,但近期在S/D电极上采用铜电极的比重正在大幅提高。除LG Display以外的其他企业,虽然也都认知到铜电极的必要性,正不断地对其进行着研究开发,但自LG Display采用后,只少需要花五年以上的时间来实现铜电极的应用。但随着面板分辨率的飞跃性发展与UHD面板量产的开始对铜电极的必要性正逐渐被放大。

据了解,为迎合目前的市场氛围,三星Display正将铜电极应用的比重大幅增加,而台湾的AUO在经历过长期开发之后,最终也从2013年正式开始将铜电极应用于量产产在线。另外,随着2013~2014年UHD面板的生产开始增加后,正准备实施UHD面板批量生产的中国面板制造商,也正努力研究产线中铜电极的应用。同时,2014年CSOT与BOE已计划将铜电极应用于部分设备上。

由于UHD面板的畅销,铜配线的必要性也随之变大。据此主要TFT LCD面板制造商,正扩大对铜配线的应用或正处于导入的准备之中。由此可推断铜将成为TFT LCD面板配线的主流。

在IHS近期发行的“TFT LCD面板的铜电极适用动向”报告书中探讨了铜电极应用扩大的趋势,主要TFT LCD面板制造商(LGC,SDC,AUO,INX,BOE,CSOT)的铜电极采用现状及其开发动向。本报告书中分析了面板制造商的产线别铜电极应用现状,铜电极应用结构,铜电极结构及根据设备而定的生产比重,已导入铜电极的主要面板金属层结构(厚度及物质)等。另外,也展望了2014~2015年各面板制造商对铜电极的产线别应用变化。

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