英特尔核心生产设备光刻机通关入区

日前，英特尔大连芯片厂核心生产设备顺利通关入区。这批重要生产设备的运抵标志着英特尔大连芯片厂的安装调试进入了新的关键阶段。

此次入区的设备是应用于晶圆制造关键工艺环节的光刻设备。为确保设备及时安全入库，大连开发区管委会高度重视，与海关、商检、公安等部门密切合作进行了周密的部署和安排。在警车护送下，用专用避震温控车辆运输此批设备，最大限度保证了设备在运输过程中不受损害。

据悉，大连芯片厂建设进展顺利，今年夏末厂区土建工程完工后，工厂全面进入晶圆生产设备的安装和调试阶段；目前，英特尔员工规模已达750人，年底预计达到1000人。今年大连芯片厂的建设取得多个阶段性成果：3月，首批生产设备运抵大连；4月，数据中心IT机房和综合办公大楼相继启用；6月，英特尔正式宣布将大连芯片厂制程工艺从90纳米升级至65纳米；10月，生产线上最核心的设备开始安装调试。