日本EUV光刻系统企业联合体计划在全球范围建立客户合作关系

时间：2011-09-18 03:48:54

关键字：光刻 EUV AN 芯片制造商

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[导读]由日本芯片制造商和设备制造商组成的EUV光刻系统企业联合体近来积极在全球范围建立客户合作关系，最新加入的海外公司包括英特尔、三星、海力士和台积电等。日本EUV光刻系统企业联合体成立于今年一月，主要成员包括芯

由日本芯片制造商和设备制造商组成的EUV光刻系统企业联合体近来积极在全球范围建立客户合作关系，最新加入的海外公司包括英特尔、三星、海力士和台积电等。

日本EUV光刻系统企业联合体成立于今年一月，主要成员包括芯片制造商Renesas和Toshiba，设备和材料制造商

AsahiGlass、DaiNippon、FujifilmCorp、HoyaCorp、JSR、NissanChemical、Shin-Etsu、TokyoOhkaKogyo和ToppanPrinting。联合体计划在2015年推出用于11-16纳米工艺制造的EUV光刻系统，联合体已经在日本国立高等科技学院建立了一个净化实验室。