中国建首个半导体薄膜设备生产基地

 近日，由沈阳拓荆科技有限公司建设的我国首个半导体薄膜设备生产基地在沈阳市浑南区落成投产。该基地一期可容纳1000人规模的研发制造团队，年产能可达100台(套)，实现产值15亿元。全部达产后，年产能可达350台(套)。

我国是全球最大的电子制造国。IC即集成电路是电子设备中最重要的组成部分，承担着运算和存储的功能，是计算机、数字家电、通信等行业的“心脏”。据行业协会发布的数据显示，去年，我国集成电路产业总营收达4335.5亿元，同比增长20.1%。

沈阳拓荆科技是由海外技术专家组建的高新技术企业，创立于2010年4月。2015年，拓荆科技获得国家集成电路产业投资基金(简称“国家大基金”)2.7亿元战略投资，是“国家大基金”在辽宁投资的第一家企业。同年，拓荆科技新厂区在沈阳市浑南区破土动工。新厂区占地面积5.2万平方米，拥有先进的研发设备、场所及生产用十级、百级和千级无尘洁净间，是我国首个半导体薄膜设备生产基地。

此前，该技术一直被发达国家垄断，设备进口严重受限，极大地制约了国产芯片产业发展。作为IC装备核心装备之一，该项目的建成一举填补了国内空白，显著提升了我国集成电路产业整体竞争力。拓荆科技的产品性能、指标达到国际一流设备水平，设备国产化率超过70%，产能是进口设备的1.1倍，成本却比进口设备低了30%。

截至目前，拓荆科技已申请专利316项、授权专利103项，公司年产值始终保持100%以上的增速，现已成为国内唯一能够生产适用于大规模集成电路生产线的半导体薄膜设备供应商。