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[导读]吉时利 (Keithley) 仪器公司日前发布了以“克服先进半导体技术的测量挑战:DC、脉冲和RF-从建模到制造”为标题的半导体测试技术参考手册。140页的手册描述了当半导体制造商进入65nm工艺甚至更小时所遇到的测量挑战。

吉时利 (Keithley) 仪器公司日前发布了以“克服先进半导体技术的测量挑战:DC、脉冲和RF-从建模到制造”为标题的半导体测试技术参考手册。140页的手册描述了当半导体制造商进入65nm工艺甚至更小时所遇到的测量挑战。 手册集合了吉时利半导体参数测试和器件特性分析专家们的经验和来自用户的应用经验。它涉及到新兴的多种技术和工艺,例如:· RF晶圆测试的挑战· 栅极介电可靠性测试· 电荷泵和可靠性· 高频电容测量· 铜工艺测试· 先进的SMU DC 测量该手册中还包含了半导体工业的通用术语表,包括了测试和测量术语。需要免费获得一本,请访问http://www.keithley.cn/pr/pr014.htm.
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