具备C-V测量功能的4200-CVU模块（吉时利）

美国吉时利仪器公司宣布为其功能强大的4200-SCS半导体特性分析系统新增一套C-V测量功能—— 4200-CVU。 4200-CVU能以测量模块的形式插入 4200-SCS的任意可用仪器插槽中，能在10KHz到10MHz的频率范围内快速而方便地测量飞法（fF）和纳法（nF）级电容。在 4200-CVU的创新设计中采用当前最先进的高性能电路，有8项专利正在申请中。该设备具有直观的点击式配置界面，线缆连接简单，内置的元件模型能够使用户直接获得有效的C-V测量结果。无论用户是否具有相关测量经验，都能使用该仪器实现专业级的C-V测量。

4200-CVU附带最完整的测试库，极大提高了测量效率。如果与吉时利 4200-LS-LC-12结合使用将实现更高测量效率。 4200-LS-LC-12是带有电缆和适配器的专用开关矩阵卡，通过单针探测能实现高度集成的C-V/I-V测试。4200-PROBER-KIT为可选模块，使用该模块能轻松将 4200-SCS与各种广泛使用的探头相连，最终帮助用户如I-V测试一样轻松配置和执行功能全面的C-V测试。

通过对4200-SCS系列产品功能的进一步增强，吉时利继续保持在C-V测量领域领先地位，仅4200这一种半导体测量仪器就能满足非常广泛的测量应用需求，其中涵盖了种类丰富的探测器、器件类型、制造工艺以及包括脉冲I-V在内的测量方法学。 4200-CVU及其可选模块可解决其他特征分析系统无法解决的问题，例如无法提供完整的C-V/I-V/脉冲，或者用户接口和软件库支持不足。此外，该系统灵活而强大的测试执行引擎能够十分方便地在同一测试序列中整合C-V、I-V和脉冲测试。因此，4200-SCS能够凭借其单一的、紧密集成的特征分析解决方案替代多种电路测试工具。

此外，吉时利公司4200-SCS仍然支持利用各种第三方测试设备进行C-V/I-V/脉冲测试的测试方法。这些特点使得4200-SCS/CVU非常适合于：
·      半导体技术研发 、工艺研发和可靠性研究实验室；
·    材料与器件研究实验室和机构；
·    需要台式DC或脉冲测试设备的实验室；
·    需要体积小而功能多、仪器多的非专业实验室与用户。

现今市场流行的半导体特征分析系统中，吉时利4200-SCS具有最直观的基于Windows的界面（GUI）。据多年客户交互和反馈的研发经验，新型4200-CVU硬件和软件模块仍将保持易于使用的特点，是4200-SCS交互式测试环境和执行引擎的自然延伸。吉时利为4200-CVU的硬件提供大量程序范例、测试库、以及唾手可得的内置参数提取实例。八个软件库提供最广泛的C-V测试和分析功能，涵盖所有标准应用，其中包括针对高K和低K材料、MOSFET、BJT、二极管、Flash存储器、光电池单元、III-V族化合物器件、碳纳米管（CNT）器件的C-V、C-t、C-f测量与分析。除测量结电容、管脚间电容以及互连线电容之外，系统提供的分析与参数提取软件还能够实现掺杂分布、TOX、游离子和载流子寿命的分析功能。这些测试包括各种线性的和自定义的C-V扫描、C与时间的关系、C与频率的关系分析功能。

吉时利C-V/I-V分析提取工具提供定义清晰的开放式环境，用户能够很方便地修改和定制测试例程。吉时利工程师根据其丰富的应用经验开发的多个工程范例，能够大大缩短用户程序开发时间。

4200-CVU提供多种先进的诊断工具，帮助用户确保C-V测量结果的正确性。在用户不能确定测试结果是否准确时，仅需点击屏幕上“Confidence Check”按钮，或者使用实时面板屏蔽部分测试设置进行验证即可。

通过简短学习操作，功能强大的4200-SCS就能提供最佳的使用体验，并顺利解决提高器件特征分析和建模的产能和效率这一长期困扰半导体实验室管理者的问题。

4200-CVU具有无可比拟的测量精度、速度和效率，这主要得益于 4200-SCS的高速数字测量硬件以及软硬件系统的密切配合，以及吉时利一贯坚持的低噪声系统设计原则。两项优势的结合意味着，无论简单的任务，如配置一次测量操作或者通过一次鼠标点击操作执行一个预定的测试序列，还是复杂的任务，如触发并绘制多重C-V 扫描曲线， 4200-CVU都能极大提高测试产能。4200-CVU系统采用高速数字架构，与其他对手的C-V测量仪器相比，能够更快速地运行、描绘出实时C-V扫描曲线。

除能在功能灵活、高度集成的测试环境中实现I-V、C-V和脉冲测试之外， 4200-SCS还为用户提供多种备选功能，主要包括8个中、高功率的DC源测量单元（SMU）、双通道脉冲、波形发生器和一个完整的数字示波器。同 4200-CVU一样，所有设备都可插入到 4200-SCS的设备插槽中，并且通过功能强大的吉时利交互式测试环境（KTEI，7.0版）进行控制。其点击式用户界面能帮助用户轻松实现一系列测试设置、测试序列控制和数据分析操作。 KTEI还能控制外部设备，包括大部分常用的探测器、高温卡盘（hot chuck）和测试夹具，以及吉时利高集成度的、当前业界连接功能最灵活的开关矩阵。

吉时利对 4200-SCS用户提供持续软硬件升级服务，这意味着 4200-CVU模块及其所有相关软件和可选硬件都能够兼容早期的 4200-SCS系统。由此，用户完全无须因为设备或材料技术的更新而频繁购买新的参数化分析仪。通过低成本升级，4200-SCS系统能够满足技术进步带来的测试需求， 满足当前竞争激烈的测量需求，最大限度地降低对外部硬件和测试程序的投资。