光刻机巨头ASML创业小故事：从破产边缘迈向成功

1984年的时候，光刻机巨头ASML曾在一天之内设定产品路线图，这段往事值得我们好好回味。

1984年11月中旬，ASML经理、高级工程师坐上大巴，往北行驶。20人在维多利亚酒店（位于凡高国家森林公园附近）呆了2天，进行团队建设、培训。他们要奋力追赶，加速前进。总之，大家的目标就是让新机器早一点做好准备。

当时飞利浦半导体和材料部(以下简称Elcoma)希望能在1986年4月1日拿到PAS 2500光刻机，然后ASML想在国际半导体展览会Semicon West上展示机器。也就是说ASML只有一年多的时间设计、制造新系统。ASML总经理Gjalt Smit给团队定出最后期限：1986年1月1日。高管们讨论着如何让计划变成现实。

前两代机器均为接触接近式光刻机，曝光方式为接触接近式，使用光源分别为g-line和i-line。从80年代开始芯片产业使用的是g-line，ASML要引入i-line。当时ASML已经挑选好了技术，也就是i-line，接下来要全速前进。

培训开始的第一天，两名来自飞利浦的培训员讲课，他们告诉大家如何以更快的速度将创意变成机器。如果是在飞利浦，整个流程一般要9-12年时间，这次他们拿出新方案，可以将时间缩短为7年。不过如果ASML想达到Elcoma设定的目标，拥有的时间只有一年多。

第二天，培训继续，但Gjalt Smit闯了进来，他告诉大家培训结束了。就在前一天晚上，Gjalt Smit刚拜访完美国客户，坐飞机回来。他说：没有时间了，整个团队必须重新思考产品路线图。

Gjalt Smit指出，如果继续开发i-line光刻机，公司也许可以成为科技领先者，但这样的机器不会有人买，因为整个行业的基础设施、材料全部是以g-line作为基础的。Gjalt Smit希望大家开发一台光刻机，在1985年的Semicon West展会上展示。大家心想：你丫的疯了吗？只给6个月开发新机器，怎么可能？

大家讨价还价，Gjalt Smit不愿意妥协，截止日期不能变，必须在预定时间内开发出PSA 2500。当时Martin van den Brink也参加了会议，他是一名新手（现在是ASML CTO）。Brink 2015年8月回忆说：“当时Gjalt Smit强迫我们加速前进，刚下飞机就给出让人为难的命令，我心想：为什么他要这样做？现在回想起来，那会真是到了关键时刻。我们与大学生坐在一起，他们彼此不认识，没有一个人知道光刻机是怎么回事。现在回想起来恍如昨日。”

开发软件的Wim Hendriksen也参加了会议，他回忆道：“当时Gjalt告诉我们说：客户希望早一点交货。作为脚踏实地的荷兰人，我们与客户没什么联系，但Gjalt与他们在沟通。所以他闯进培训室，将一切推倒重来。他说：必须在1985年5月之前拿出机器，否则我们就会破产。那一天的培训以混乱结束。当我们离开大楼时，纸文件堆了一米高。讨论是有意义的，我们有一套可行的方案。”

当时ASML的光刻机是以油驱动的，新方案将油换成了电。电技术已经存在，但ASML并没有使用。飞利浦研究实验室已经从概念上验证过引入直线电机的可能性，但没有转化为产品。根据这一概念，ASML开发出PAS 2400，它相当于过渡产品。从本质上讲，就是把PAS 2000光刻机与由直线电机控制的圆晶台结合在一起。

在1985年的Semicon West展会上，AMD、Cypress、National Semiconductor表示对PAS 2400感兴趣。后来AMD挑了四家公司供货，ASML是其中之一。

这段往事告诉我们，服务客户时，没有必要时时刻刻追求100%完美，只要效率足够好，有时机器有些缺点也是可以接受的。走过创业阶段之后，AMSL要与竞争对手抢市场，它的宗旨就是及时为客户提供正确的技术，制造最可靠的机器并不是最重要的。自PAS2400之后的每一代机器都是这样的，一直到EUV。客户拿到新机器，有时接下来几年都不好用，但它们还是愿意购买。为什么ASML还要生产呢？因为它想传达一个信号：我们仍在沿着摩尔定律前进！

希望这个老故事能给中国的光刻机研究人员带来参考。