2013年MOCVD设备的国产化之路

在政策支持和资金补贴的大力支持下，中国大陆的MOCVD设备需求量和增速居世界首位，但长久以来设备市场一直被国际两大MOCVD厂商德国AIXTRON和美国VEECO占据垄断地位。摆脱对进口设备的依赖，实现MOCVD设备的国产化，不仅是企业的需求、市场的需求，更是整个产业的需求。科技部发布的《半导体照明产业“十二五”规划》中也提出，到2015年，大型MOCVD装备、关键原材料将实现国产化。

其实，国内不少企业和研究机构一直致力于MOCVD设备的研究，但大多是研制出样机之后便无下文。国产MOCVD设备一直在量产化和“卖出第一台设备”上困难丛丛。虽然在走向市场的过程中有些缓慢，但历经几年的艰辛研发和技术攻关，国产MOCVD厂商，比如广东昭信半导体、理想新能源、中科宏微、中晟光电、中微半导体、思捷爱普等在内的多家企业不仅推出了首台设备，还在市场化和量产方面成功的迈出了第一步。

下面，我们就回顾一下，2013年国产MOCVD设备厂商都取得了哪些喜人的进展?

一、理想能源MOCVD设备于璨扬光电正式投入试量产

2013年10月18日，理想能源设备(上海)有限公司与璨圆光电股份有限公司联合宣布：理想能源MOCVD设备已于台湾璨圆光电股份有限公司位于扬州的子公司-江苏璨扬光电有限公司的外延工厂正式投入试量产。 这是继2012年12月具有国际尖端技术水平的首台MOCVD设备下线之后，理想能源与璨圆光电携手在国产MOCVD设备产业化方面取得的又一重大突破，实现了MOCVD设备完全自制化。

二、中晟光电大型MOCVD设备ProMaxyTM正式进入市场

2013年3月19日，中晟光电设备(上海)有限公司正式发布大型 MOCVD 设备 ProMaxyTM 进入市场。已有客户接受多腔 ProMaxyTM 并调试进展顺利。此外，多家客户对 ProMaxyTM完成了现场验机与评估。

三、中微MOCVD设备技术性突破大获LED业界认可

中微MOCVD设备Prismo D-Blue?第十五届中国国际工业博览会(简称“工博会”)上荣获银奖。该产品于今年3月正式发布，是此次获奖产品中唯一代表半导体外延工艺的MOCVD设备，该产品技术对于高亮度LED的大规模生产至关重要。上海蓝光科技有限公司是中微MOCVD设备的第一批用户之一，蓝光公司技术和质量管理副总裁郝茂盛博士特别提出：“中微的设备性能超出了我们的预期，达到了MOCVD设备所应具备的高工艺标准。”

四、昭信半导体MOCVD设备正式交付量晶光电

2013年7月，昭信半导体迎来了发展历程上的又一个春天，公司定位于广东量晶光电科技有限公司的首台生产型MOCVD设备通过验收，正式交付量晶光电。这是昭信半导体MOCVD设备迈出市场化进程重要一步的又一个历史性时刻。

相比前些年，国产mocvd设备厂商研制出样机的新闻，今年有关国产MOCVD量产和交付使用的新闻逐渐成为主流。这从整体上说明了我国国产mocvd设备逐步被市场接受和认可。但在设备的稳定性、产品品质的一致性、设备的易操作性、交付使用后的设备调整使用以及服务方面，特别是帮助外延芯片企业降低生产成本、提升产品品质、提升市场的普遍认可度等方面，国产MOCVD设备厂商还有很长一段路要走。