吉时利授权FormFactor公司为探针卡供应商

美国吉时利（Keithley）仪器公司日前宣布授权FormFactor公司为吉时利半导体参数测试仪制造高性能参数测试探针卡。FormFactor公司所提供的探针卡将应用于吉时利S600系列参数测试仪，进行测量超低直流电流，以及对接触半导体晶圆的PIN脚进行标准直流参数测试。晶圆制造商和代工厂可以采用S600系列测试仪对用于组装和封装的晶圆进行合格性检测或工艺监测。

FormFactor公司Takumi探针卡非常适合于吉时利最先进的参数测试仪——S680型直流/射频参数测试系统的相关应用。S680是专门针对高级逻辑、存储器、模拟IC电路的晶圆级参数测试而设计，它在一套测试系统内实现并行测试功能、高灵敏度直流测量、飞安级分辨率测量和高达40GHz的射频s参数测量。该系统为65nm以上工艺节点的参数测量提供当前业界最高的测试产能和最低成本。

S680是高灵敏度、高速信号测试的理想选择。其设置信号前置放大器在测试头上，能放大仅几厘米长的探针内低电平信号，将放大后信号通过电缆传输到系统机柜内的测试仪中进行分析。本方法消除了一般情况下电缆和开关矩阵导致的速度与灵敏度损耗。利用8个通用通道将外部仪器直接与探针连接在一起。

吉时利认为FormFactor公司在苛刻工艺、微小尺寸PAD和微细间距应用方面具备世界顶尖设计水平，在测试结构和划片线的特征尺寸日益缩小的情况下，以上应用必须支持高性能的测量需求。

吉时利副总裁、商务经理Mark Hoersten表示，“对FormFactor公司的授权表明吉时利决心继续提供最新的探针卡与参数测试测量技术，并为客户扩大探针卡的可选数量。 FormFactor的探针卡体现了极高性能工艺，充分满足当前电子设备采用尺寸日益缩小的元件所带来的精密测量挑战。”

FormFactor高级副总裁、研发与首席技术官Benjamin N. Eldridge表示，“将我们的Takumi参数测试平台扩展至吉时利的测试仪上，对于我们双方客户皆极具战略意义，半导体厂商在将工艺移植到65nm以下节点的过程中，必须依靠测试公司提供最新测量技术。吉时利长期以来在低电平直流半导体测试领域一直居创新技术领导者地位，与吉时利的紧密合作将推动我们共同提高技术融合水平。”