诺发系统获台积电优秀供应商奖

【导读】诺发系统获台积电优秀供应商奖  
    诺发系统有限公司(Novellus Systems)近日宣布，该公司的VECTOR®系统在台积电2006供应链管理论坛上获得TSMC颁发的“2006年度优秀CVD供应商奖”。350多家TSMC供应商参加了这次活动，诺发公司是获得“2006年度优秀供应商奖”殊荣的十一家公司之一。诺发公司的VECTOR 300mm等离子增强化学气相淀积（PECVD）设备被半导体制造商所广泛采用，用于高性能IC电介质薄膜的淀积。该系统在薄膜技术上取得了诸多技术革新，同时具有很高的生产力，因此被TSMC所认可。  

    TSMC总裁兼CEO蔡力行博士说：“随着我们在半导体产业领先地位的加强，供应商继续为我们开发低成本和高效的设备、零部件和材料，从而使合作双方进一步增强竞争力，共同迈向成功的未来。”  

    诺发系统有限公司电介质事业部高级副总裁Tim Archer说：“诺发公司致力于为代工厂提供不断改善的生产灵活性。由于VECTOR在薄膜技术上的技术革新和高效生产力，TSMC可以在同一工厂内利用VECTOR进行多个工艺时代产品的生产。我们非常荣幸能够获得这一殊荣。我们将继续努力与TSMC一起合作，为该公司在65nm以及65nm以下技术节点取得不断成功提供有力的支持。”  
    
    诺发公司从2000年开始推出VECTOR系统，该系统能够淀积双嵌入式结构所需的各种电介质薄膜。VECTOR是全球装机量最大的300mm CVD系统，前10大半导体公司中有9家公司采用了该系统。VECTOR设备最初是为130nm和90nm生产设计的，通过技术更新可以延伸到65nm技术节点，同时将产能提高达30%。