住友电气SEDI 借助AIXTRON 爱思强系统推动碳化硅基氮化镓设备生产

日本住友电气工业株式会社所属Sumitomo Electric Device Innovations, Inc. (SEDI)已订购一套4 英寸晶圆规格AIXTRON 爱思强CRIUS? MOCVD 系统，以推动用于高频数据传输应用的碳化硅基氮化镓器件产品的生产。订单是在2014 年第一季度发出，该系统将于第三季度交付予横滨SEDI 的电子设备部门。

SEDI 预期2015 年其产品将开始出现需求上升的趋势并为此做以准备。对于高成本的碳化硅基的产品生产而言，沉积均匀性及工艺的精准控制至关重要，选用AIXTRON 系统正是基于其产品在此方面具有极佳的声誉。这款全新的反应器配备动态间隙调整、ARGUS 实时温度控制和EpiCurveTT 驻在监测系统等辅助功能。ARGUS 监控装置可提供全部晶圆的实时温度映像,从而实现对生产工艺的最佳操控，同时喷淋头与基材之间间隙的可调整功能则展现了设备的灵活性。

SEDI 已在行内建立了良好声誉，是目前部分最佳高频器件的供应商。该公司提供适用于雷达、移动电话基站及一般应用的各种氮化镓HEMT（高电子迁移率晶体管）器件。这些碳化硅基氮化镓HEMT 设备的高频功率可放大至14 千兆赫。