ams推出MEMS气体传感器IC，检测家里的挥发性有机化合物

 奥地利ams公司推出了MEMS气体传感器IC“AS-MLP-P2”，用于检测普通住宅内的挥发性有机化合物(VOC：Volatile Organic Compounds)，可检测的有机化合物包括乙醇、醛、酮、有机酸、胺、脂肪烃、芳香烃等。主要用于智能住宅的空气监控系统和IoT设备等。将这款IC与500万像素的CMOS传感器、两个麦克风、温度传感器、湿度传感器以及支持无线LAN或蓝牙的无线通信功能组合，就能实现检测普通住宅内的声音、温度和气味，并将检测结果显示在智能手机或平板电脑上的系统。

新产品融合了ams公司自主开发的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技术和MOS(Metal Oxide Semiconductor)技术。在利用LPCVD法制成的约1μm厚的SiN(氮化硅)膜上，制作铂加热器和梳型电极，然后在梳型电极上面形成二氧化锡基薄膜。该薄膜被用作对气体浓度有依赖性的导电膜，也就是说，其电阻值会随着周围环境内的挥发性有机化合物的浓度而变化。使用时要将铂加热器加热到320℃(标称值)。电阻值的变化范围为100kΩ～500kΩ。响应时间以秒为单位。耗电量在加热至320℃时仅34mW(标称值)。

封装采用外形尺寸为9.1mm×9.1mm×1.6mm的4端子TO-39。周围环境的工作温度范围为0～+50℃，湿度范围为5～95%。批量购买1000个时的美国参考单价为14.30美元。