安捷伦推出整合CV和IV测量的器件分析仪

安捷伦科技日前宣布，推出基于Windows的半导体器件分析仪，把电容对电压测量(CV)及电流对电压测量(IV)集成到一台仪器中，使半导体测试工程师节约了时间，提高了生产效率。安捷伦B1500A为参数测试和分析提供了完整的可单机、可扩展解决方案，能够处理65 纳米(nm)及更小光刻工艺技术。模块化仪器采用10插槽配置，支持安捷伦新推出的EasyEXPERT软件，提供了一个完整的器件检定方法。对处理当前半导体工艺技术的工程师和科学家来说，半导体器件检定是一项复杂的工作。搭配基于Windows的图形用户界面，即使对参数测量仪器经验不足的新工程师，也可以轻松使用。 “采用EasyEXPERT软件的安捷伦B1500A把每个用户变成了参数测试专家。”安捷伦Hachioji半导体测试分部副总裁兼总经理Minoru Ebihara说，“一般半导体测试仪器要求EasyEXPERT知道每种硬件功能，并要求多种设置才能进行测量。B1500A为用户立即提供了高效的生产能力，使投资回报达到最大。”新的EasyEXPERT软件提供了一个器件应用测试程序库，用户可以根据要求的测量类型进行选择。在进行几个简单的设置之后，如确认工艺类型，及选择适当的器件类型，软件便会选择相应的设置，进行测量，分析数据，以图形方式显示分析结果。通过使用基于Windows的EasyEXPERT软件，即使是新手也可以在B1500A开机几分钟后进行高效测量。当检定同时要求进行IV和CV测量时，工程师面临着额外的挑战。然而大多数仪器只是为一种测量设计的，这意味着必须透过两个接口连接两种不同的仪器来进行测量。必需把电容测量单元(CMU)的连接线正确连接到被测器件(DUT)上，并精确补偿电缆长度，以保证精确的CV测量结果。此外，CMU采用BNC连接器，而电源测量单元(SMU)采用三轴连接器。在这些不兼容的连接器之间切换可能会非常困难、麻烦，特别是与芯片探针台上搭配使用时。安捷伦B1500A提供了高度灵活性，帮助降低测试成本。其10插槽配置支持三种SMU类型：o高分辨率SMU (HRSMU)o中等功率SMU (MPSMU)o高功率SMU (HPSMU)安捷伦还提供一个多频率电容测量单元(MFCMU)，B1500A主机内建4.2 A接地单元(GNDU)。除把CV测量集成到器件分析仪主机外，MFCMU比类似的外部电容仪表提供更多的测量功能。它可以以高达5 MHz的频率测量电容，提供了正负25 V的DC偏置。此外，在同一部仪器中把MFCMU和SMU结合起来，使得这些测量资源能够更加紧密地结合在一起。在结合使用B1500A SMU CMU合一单元(SCUU)时，MFCMU和SMU组合支持正负100 V的 DC偏置的电容测量。B1500A SCUU为把两部SMU和MFCMU连接起来、并在这些不同测量资源之间切换提供了一种方便智能的方式，而不需使用单独的外部开关矩阵仪器。B1500A软件处理所有IV-CV测量切换、补偿和返回路径状态。为着手进行精确测量，用户只需选择IV或CV算法，然后按一个键即可。量身订做的测量解决方案帮助测试工程师只要购买所需的功能，来帮助降低测试成本，并且预留发展空间应付需求变化。由本身具备的低电流、低电压和补偿电容测量功能，安捷伦B1500A可以用于半导体器件和新兴材料的各种检定需求，包括采用纳米工艺技术的器件。B1500A的自动传感和开关单元(ASU)，提供了0.1 fA (100 attoamps)和0.5微伏的分辨率用以量测例如MOSFET Idoff和存储单元漏电检定等测量。工程师可以简便地透过ASU所连接到的高分辨率SMU和CMU时，作高精度IV和补偿CV测量之间的切换。安捷伦B1500A半导体器件分析仪现已接受订货。基本4-SMU IV测量解决方案起价45,000美元，基本CV-IV测量解决方案起价58,000美元。预计该产品将在2005年8月发货。