他为摩尔定律续命，因为“一滴水”而获奖

“获得未来科学大奖是非常荣幸的事情，这是大家对我所做工作的肯定。我本来以为，大陆同行不清楚我做的贡献，现在看来大家都知道我做的贡献”。他欣然答应今年11月18日来北京参加颁奖典礼。

近日朋友圈被未来科学大奖刷爆，尤其是林本坚(Burn J.LIN)先生因为摩尔定律续命而获得数学与计算机科学奖，更令国内半导体圈情绪高涨。下面就让我们一起来走近林先生，看看他是如何获得此殊荣的。

“X光只是给牙医用的”

林本坚的父母早先时候居住在香港，在抗战时期逃到相对安全的越南，林本坚便出生在那里。在越南，他一方面接受中国式的教育，另一方面因其父亲曾是一所英文学校的校长，为他学习英文打下了扎实基础。

在高中的最后一年，17岁他到台湾新竹高级中学读书，后来考入台湾国立大学的电机系并获得电机学士。此后，林本坚赴美读书，于1970年获得美国俄亥俄州立大学电机工程博士。毕业后，他本来想进入一家光学公司，但没想到“误打误撞”进了IBM。不过，他没想到的是，在光学方面的训练倒是在半导体成像方面帮了他很大的忙。这样，从光学设计转到半导体技术，他在IBM不断提高成像技术，一干就是22年。

不过，当时的IBM，他的技术路线并不被看好，而处在研发阶段，谁都不知道哪一条路会成功。当时为了“抗议”公司主流的技术路线，林本坚写了一个大的布告，贴到办公室的墙上，说“X光只是给牙医用的”。他的执拗可见一斑。

当时的IBM有很多人是做物理出身，他们认为，把深紫外线缩到250多纳米，用X光可以做到甚至更低一点。当时的IBM花很多力气去研究X光方面，而林本坚坚持认为，到250纳米之后，光学微影是很有前途的。

独创“浸润式微影”为摩尔定律续命

离开IBM，林本坚选择了创业，成立了Linnovation，发展与光刻相关的软件以及其他技术。但8年之后，他的最大的一个竞争对手被一家大公司收购，他陷于无力与之竞争的绝望之中。恰在这时，台积电来电话邀请他加盟，经过一番了解后，林本坚欣然应允。

2000年，林本坚回到台湾，加入了台积电。那时，全世界都在走157纳米波长的微影蚀刻的技术，不过，林本坚认为这个技术遇到了难以突破的瓶颈，需要另觅他途。2002年，林本坚受邀参加一场国际光电学会技术研讨会，会中他发表这项发现，语惊四座，因为当时的半导体设备商多研发焦点放在如何延续干式机台的生命，并已耗费数十亿美元进行开发。林本坚的理论无疑是在业界投出一颗炸弹，但经过他无数研讨会努力奔走、寻找与设备商合作，最后，台积电在2004年与ASML共同完成开发全球第一台润式微影机台，让业界在震惊之余也刮目相看。他开创性地发明浸润式微影这项颠覆性技术，扭转了技术潮流，成功引领了全世界的半导体研发。

灵感从“一滴水”到“天空”

如今，浸润式显影不但是英特尔(Intel)等半导体龙头、设备商所认定的跨入45奈米制程之后的解决方案，也已正式纳入国际半导体蓝图架构成为主流。回顾过去林本坚提出的“一滴水”理论，过了5年，台积电终于将在2007年下半正式用来量产。

台积电采用193波长曝光设备，量产45奈米制程，这套设备之所以引人瞩目，在于不同以往的“干式”制程，而是“湿式”机台。过去干式曝光显影是在无尘室中，以空气为媒介进行，透过光罩在晶圆上显影;而浸润式微影则是以水为透镜，在晶圆与光源间注入纯水，波长光束透过“水”为中介，会缩短成更短波长，得以刻出更精密晶片。就是这项发明，让半导体的摩尔定律得以朝45奈米制程之后沿续。

林本坚的“微物”论改变的半导体技术的进展，也改变由晶片所驱动的世界，45nm之后，他又继续投入22奈米制程之后设备研究，不同的是，这次灵感来自“天空”。

林本坚说，22奈米制程之后多重直接式电子束(E-Beam Direct Write)将是最佳解决方案，他说航太工程的演进给了他许多灵感，他巧妙地比喻，现在许多设备商投入的EUV设备就像是太空梭一样成本太昂贵，又不适合载客，E-Beam就是向不需要飞行跑道的直升机，可以直接空降在晶圆上，灵巧又符合成本效益。看来“一沙一世界、一奈米一宇宙”这句话用在他身上再洽当也不过了。

现在，台积电已经宣布先3nm进军了。我们感叹科技发展的速度，同时也深知，没有林先生也不会有现在的3nm。

在国立清华大学官网发布的声明中：林说他最初的退休计划只包括两项活动:宣传福音和帮助人们享受更繁荣的生活。然而，后来他意识到教学也是帮助人们享受繁荣的好方法。正如林所说，“在我从事半导体行业的46年中，我学到了很多，现在我想和下一代分享这些。除了传授专业知识，我希望能激发学生的创造力，以及解决问题和团队合作的能力。"

"No matter what the problem is, you have to be prepared to adopt different approaches to solving it.”

——Burn Lin