基于显微成像系统的micro-LED表面亮度检测

厦门大学与台湾新竹交通大学的科研团队(郭浩中，吴挺竹，佘庆威)近期合作开发了一种基于显微成像系统的micro-LED表面亮度检测系统，可以快速测量micro-LED阵列在工作时任意位置的绝对亮度值。

LED作为一种主动的自发光装置已经存在了半个多世纪。由于其低功耗，低工作电压，高照度，长工作寿命和稳定的性能，使其成为一种非常流行的应用。随着LED技术的发展和各种行业对微集成的不断增长的应用需求，micro-LED阵列器件应运而生。通过进一步减小LED芯片的尺寸，在毫米的范围内，可以制备数百或数千个micro-LED以形成micro-LED阵列。micro-LED在许多领域具有潜在的应用，包括micro-LED显示器，高速并行可见光通信，高压照明芯片等。

在显示领域，与LCD和OLED显示技术相比，micro-LED显示器具有发光效率高，亮度高，对比度高，响应时间短的优点。但由于散热，老化等问题，导致显示器成像缺陷，影响其成像质量，因此显示器的缺陷检测是必要的。但目前的检测测量仍保持在宏观水平，不能用于精确测量微LED阵列，而且用于评估micro-LED阵列亮度的方法集中在总亮度的测量上，未能快速检测微LED阵列中的坏像素。因此寻找一种快速、精确的方法来检查micro-LED的表面亮度是非常有必要的。