模拟
台积电与法CEA-Leti合作多重电子束微影技术
时间：2009-07-07 12:26:36
手机看文章
扫描二维码
随时随地手机看文章
[导读]7月7日消息，台积电6日宣布，已与法国半导体研究机构CEA-Leti签订合作协议，将参与由CEA-Leti主持的IMAGINE产业研究计划，就半导体制造中的无光罩微影技术进行合作。
台积电指出，IMAGINE研究计划为期3年，参与的公
7月7日消息，台积电6日宣布，已与法国半导体研究机构CEA-Leti签订合作协议，将参与由CEA-Leti主持的IMAGINE产业研究计划，就半导体制造中的无光罩微影技术进行合作。
台积电指出，IMAGINE研究计划为期3年，参与的公司皆可取得无光罩微影架构供IC制造使用，也可以藉由MAPPER公司的技术提高生产效率。这项研究计划涵盖了设备评估、制像与制程整合、数据处理、原型制作与成本分析等全方位的内容。
台积电研发副总经理孙元成表示，台积电一直推动具成本效益的微影技术，无光罩微影技术是潜在的解决方案之一；之前台积电已宣布与MAPPER公司一同开发多重电子束微影技术，供22奈米及更先进的制程使用，藉由参与CEA-Leti的IMAGINE研究计划，希望与半导体产业结盟，加速这项技术在IC制造领域的发展与推广。
CEA-Leti首席执行官Laurent Malier表示，微影技术是半导体产业的一项主要挑战，采无光罩的解决方案可提供弹性与得到机台的成本优势，与MAPPER公司相结合，就看到了提升产业生产效率的可能性，而台积电的加入不仅将强化对制造可行性的评估，也带领无光罩微影技术迈向发展进程的下一步，成为可运用在22奈米制程的解决方案。
下载文档本站声明： 本文章由作者或相关机构授权发布，目的在于传递更多信息，并不代表本站赞同其观点，本站亦不保证或承诺内容真实性等。需要转载请联系该专栏作者，如若文章内容侵犯您的权益，请及时联系本站删除。
换一批
延伸阅读
Tims咖啡在中国的第500家店正式落户广东东莞。与此同时，Tims中国公告，2022年上半年公司实现营收4.04亿元，相较于2021年上半年营收2.37亿元，同比增长超70%。（知消）...
关键字： TI
