爱德万测试开发出1Xnm节点电子束微影系统

全球测试领导大厂爱德万测试 (Advantest)21日宣布已开发出全新电子束微影系统F7000，该系统可提供绝佳解析效能，满足1Xnm节点测试。F7000支援多种材料、尺寸、形状的基板，包括奈米压印母模及晶圆，能广泛应用于先进大型积体电路、光电产品、微机电系统 (MEMS)及其他奈米制程。

爱德万测试将于12月5-7日在日本千叶县幕张国际展览中心举办的SEMICON Japan国际半导体展上展出F7000。F7000预计于2014年3月底，正式上市销售。