志尚仪器开启半导体在线微污染监测设备的新纪元

近年来志尚仪器为了不断的追求质量目标以提供客户最佳的售后服务，不仅于2006年首先通过ISO9001认证，之后又率先于2008年成立 ISO 17025 认证暨TAF第1936号气体流率(Flow Rate)与气体侦测器(Gases Monitor)校正实验室以提供客户最优质的气体流量计或校正器之校正与可燃性/毒性气体侦测之校正服务，2009年开春志尚仪器更传来该公司所成立的全台第一家微污染气体分析实验室(AMC Lab.)也以获得 ISO 17025 的认证暨TAF第1992号实验室认可。

此外更积极与学术界进行技术转移及交流，2010年有幸获得国立交通大学蔡春进教授的首肯同意与敝公司进行技术合作，并将已获得中华民国专利的Denuder 技术作技术转移，以便与 ISO 17025 实验室结合开发出新一代的 AMC 分析仪。


志尚与ISO17025实验室结合开发出新一代的AMC分析仪。

交通大学蔡春进教授对于平板式湿式分离器已有多年的研究经验，而蔡教授最近也已获得中华民国第 I327641 号专利，该平板式湿式分离器专利包含此平板式湿式分离器之用于连续式采样及分析之系统及用于将气体吸收及氧化之设备开发了一种高效率的平板式湿式固气分离器(Parallel plate wet denuder, PPWD)以改善现今国内烟道酸性气体标准采样方法的缺点，有助于提升采样分析的方便性及准确性。

本公司有此荣幸与蔡教授合作并获得美国 Dionex 公司全力支持该公司的在线 IC离子层析仪系统，并结合志尚仪器自行生产的多点采样系统及 ISO 17025 认证实验室的品管掌控，而推出最新一代的半导体AMC在线离子层析仪监测设备。本设备于实验室中曾以VICI公司渗透管所产生之HF气体作为测试气体，渗透速率为109 ng/min±25% ( 30℃)，每个平板的去离子水吸收液流量为1 cc/min，采样时间为15分钟，气体流量为5~10 L/min。气体由吸收液吸收后，利用IC离子层析仪进行吸收液的样本浓度分析，并据以计算PPWD的吸收效率。

实验结果显示若玻璃平板为光滑的平面玻璃，即使经涂敷TiO2再配合UV光照射，形成的水膜仍不均匀，气体吸收效率因为部分干掉表面的槽道效应而仅约为25%。若利用多孔玻璃平板涂敷TiO2再经UV光照射，结果发现其表面亲水性佳、水膜均匀，当气体流量为5L/min、7 L/min和10 L/min时气体吸收效率分别为105.36%±9.06%、96.76%±1.57% 和0.33%±4.63%，其实验结果与理论吸收效率相符。

志尚仪器所获ISO 17025认证的微污染分析实验室，主要就是考虑以往在半导体微污染分析的领域往往由于采样或分析的手法不同造成对分析结果有所疑惑，而志尚仪器微污染气体分析实验室(AMC Lab.)的成立就是希望能提供半导体相关客户一个可靠的采样分析实验室。志尚仪器的微污染气体分析实验室是根据相关SEMI的标准并依据EPA或 NIOSH的采样或分析方法提供有关半导体业常见的碱性(Ammonia/Amines)或酸性(氟/氯/溴离子、硫酸/亚硫酸根离子、硝酸/亚硝酸根离子…等)气体ppt到ppb的分析范围服务。此外该实验室也结合志尚仪器另外两个ISO17025实验室(气体流率及气体侦测器校正实验室)，更能确保在采样时采样系统流率的正确以及相关标准气体的准确配置，以便提供客户最佳的微污染气体分析服务。