Air Liquide将为中芯国际深圳晶圆厂供气

中芯国际选择了Air Liquide作为长期气体供应商，为其2010年初投产的深圳200mm和300mm晶圆厂供应气体。Air Liquide将投入1300万美元用于设施改造以满足中芯国际的需求。

“深圳是中国半导体产业重镇，此次新建的晶圆厂是中国南方首座200mm以上晶圆厂，这对于中芯国际和深圳在半导体产业的布局战略都有非常重要的意义。”中芯国际副总裁Samuel Tsou说道，“我们决定仍然与Air Liquide合作，Air Liquide在全球范围内的专业服务为我们提供了良好的帮助。”

根据条款，Air Liquide将向中芯国际供应氮气、氧气、氢气、氩气等气体。

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相关链接（英文）：

http://www.fabtech.org/news/_a/air_liquide_to_supply_bulk_and_speciality_gases_to_two_new_smic_fabs/

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