台湾兆远科技捐设备予交通大学 深化PSS开发

LED半导体照明网讯 蓝宝石基板厂兆远科技为提升国内光电技术教育与人才的培训与发展，强化产学合作，并与科技产业脉动技术接轨，26日宣布，赠与国立交通大学光电工程学系一台感应偶合电浆离子蚀刻系统(ICP)。兆远表示，希望透过捐赠ICP机台，提供研究开发PSS制程所需的设备，让交通大学的学生除了学习理论外，能有机会实际操作PSS结构制程研究及对未来新世代光电材料的新材料延伸开发研究。

兆远指出，赠与仪式于26日上午，由兆远董事长姚宕梁先生代表赠与，交通大学副校长谢汉萍教授代表接受。共同参与赠与仪式，总经理彭志强先生、交通大学光电工程学系特聘教授郭浩中等多位贵宾以及师生莅临交通大学交映楼国际会议厅观礼。

姚宕梁表示，期望藉由赠与设备，兆远科技与交通大学光电工程学系，在未来将有更进一步的相关研究和技术合作交流。

郭浩中强调，目前市场最受欢迎的PSS图案规格为底宽2.6微米，间距0.4微米，当间距小於0.2微米时，将造成客户在磊晶制程後，会在表面出现雾化，交通大学在与兆远先前合作之中发现AlN镀膜技术可以克服表面雾化，尤其在UV LED(375mm)的应用，不只可获得高品质的磊晶薄膜，并可提升UV LED的亮度约10.6%。