东芝开发半导体设备自动中止与关闭系统

21ic讯 东芝公司(Toshiba Corporation)和Nippon Denno Co., Ltd.开发出一种自动中止与关闭系统，可在发生地震时，关闭半导体生产设备。该系统已从2013年2月起在东芝旗下子公司—东芝岩手电子公司(Iwate Toshiba Electronics)投入使用。东芝打算进一步完善该系统，并将之推向市场。

该系统可检测到主要的地震波，然后在主冲击波来袭前的十秒内关闭生产设备。该系统利用了东芝的半导体制造与生产设备知识以及Nippon Denno的自动操作控制技术。

该系统可同时安全地控制多达20种不同设备的中止与关闭。它可降低地震带来的损坏风险，减少恢复所需的时间与成本。举例来说，采用该系统可将平板印刷设备的恢复时间减少一半。

东芝将向半导体晶圆厂和其他工业设施销售该系统，并将根据在应对东日本大地震时所积累的专业知识继续改善晶圆厂的抗灾运转能力。